沈阳建筑大学(BIPV)绿色低碳实验平台设备更新项目—新型光伏材料研发中心子模块（第二批）招标公告

一、项目基本情况

项目编号：JH26-210000-17166

项目名称：沈阳建筑大学(BIPV)***平台设备更新项目—****中心子模块（第二批）

包组编号：001

预算金额（元）：1270000

最高限价（元）：1270000

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001包多功能电性能检定设备

01半导体电学特性综合测试仪

技术规格偏离表

包号/序号：001/01产品名称：半导体电学特性综合测试仪数量：1台是否为经过审批采购的进口产品：否，本项目不允许采购进口产品是否为核心产品（非单一产品采购项目时适用）：是

一、产品要求（包括配置、标准及技术指标等详细内容）★1.电阻率测量范围：至少覆盖10-4至1010Ω˙cm▲2.迁移率：至少覆盖1电阻至107 cm2 / Volt-sec★3.载流子浓度：每立方厘米至少覆盖107至10234.电流源：至少覆盖±2 nA至±20mA，符合±16V★5.最小可测量霍尔电压：≤0.1μV★6.支持Van der Pauw以及Hall Bar样品▲7.磁场：磁强强度不低于0.6特斯拉，磁体直径不小于70mm，永磁体，配置电动磁体组样品尺寸从5x5 mm到15 mm x 15 mm以及厚度≤5mm▲9. 分辨率：至少覆盖1kHZ~10MHZ▲10. 电流表最小测试量程≤100nA（最小量程时，分辨率优于5pA，精度优于30pA），最大测试量程≥104mA▲11. 脉冲I-V测量：±210 V/100 mA，100 fA 测量分辨率，前端放大器提供10aA测量分辨率，10mHz-10Hz超低频率电容测量。★12. AC 阻抗测量 （C-V，C-f，C-t），±30V（60V差分）内置DC偏置源，可以扩展到±210V；13. 选配CVIV多通道开关，具备在I-V测量和C-V 测量之间简便切换功能。▲14电阻测量范围：覆盖50 nΩ 至 40 TΩ；▲15 卡盘≥4英寸，平整度 ≤5um，卡盘台 X/Y 方向的行程≥100mmx100mm，移动精度≤1um；▲16 中心吸附 孔和多圈吸附环固定样品，均独立控制17 样品台Z轴升降≥8mm，U***平台，台面最多可以同时容纳不少于6个探针座★18 不少于4套直流针座，线性移动定位探针X-Y-Z方向移动行程≥12mm，精度≥2um；不少于10针直流探针，针尖直径≤2um★19 漏电精度＜100fA，最大可耐电流≥10A，最高可耐电压≥1500V20 载物台吸附力不低于-250mm/Hg，空气流量不低于7L/min，静音无油★21 红蓝绿LED光源系统，可测量光霍尔。

二、配（附）件的数量及技术要求（详细内容）★低噪声三同轴电缆不少于4套

三、技术文件、资料的要求1.供货时附带产品使用说明书1份、装箱清单1份、合格证1份。

四、软件要求★随机免费提供数据采集与分析系统（包括软件和硬件），可实现不同测量数据的记录和绘图，包括但不限于 I-V曲线，以及绘制电阻、电阻率、薄层电阻、磁阻、载流子浓度、霍尔迁移率、霍尔系数等作为样品温度的函数。

五、安装、调试及所需材料、工具等 1.供货商在接到用户安装通知后，须在5工作日内安排有经验的工程师到现场安装仪器，并在5工作日内安装、调试完毕。2.安装工程师对仪器提出的性能指标须逐项演示给用户。3.安装、调试过程中，安装工程师有义务对用户讲解仪器的操作及注意事项。4.人员培训：供货商提供3个工作日的培训5.仪器维修：仪器自验收签字之日起，保修期1年。6.投标人提供给买方的货物必须是最新的产品。

02通用电化学测量仪

技术规格偏离表

包号/序号：001/02产品名称：通用电化学测量仪数量：1台是否为经过审批采购的进口产品：否，本项目不允许采购进口产品是否为核心产品（非单一产品采购项目时适用）：否

一、产品要求（包括配置、标准及技术指标等详细内容） ★1.电化学工作站，8个通道以上，每个通道可以独立使用，每个通道都具备交流阻抗测试功能2.恒电位控制范围：±10V3.恒电流控制范围：±1.0A▲4.电位控制精度：≤0.1%×满量程读数±1mV▲5.电流控制精度：≤0.1%×满量程读数★6.电流量程：2nA～2 A，共10档★7.槽压：±21V8.最大输出电流：≥1.0A9.阻抗频率响应：至少覆盖10uHz～1MHz10.CV和LSV扫描速度：至少覆盖0.000001V/s至10，000V/s。

二、技术文件、资料的要求 1.供货时附带产品使用说明书1份、装箱清单1份、合格证1份。

三、软件要求 1.可完成开路电位测试（OCP）、恒电位极化、恒电流极化、线性循环伏安（CV）、线性扫描伏安（LSV）、方波伏安（SWV）、极化曲线测试（Tafel）、电池充放电测试（GCD）、阻抗测试-电位/电流控制模式、定频阻抗测试-电位/电流控制模式、莫特肖特基曲线测试。★2.任意两个通道联用，可以实现盘环电极测试（RRDE）、氢扩散测试（HDT）。3.软件支持序列化测试功能，通过自定义方法组合，可实现无人值守下的自动测量。4.支持二次开发，可提供二次开发接口，提供API通用接口和开发实例。★5.具备标准数字接口，可以拓展功率扩展器、阵列电极测试。

四、安装、调试及所需材料、工具等 1.供货商在接到用户安装通知后，须在5工作日内安排有经验的工程师到现场安装仪器，并在5工作日内安装、调试完毕。2.安装工程师对仪器提出的性能指标须逐项演示给用户。3.安装、调试过程中，安装工程师有义务对用户讲解仪器的操作及注意事项。4.仪器维修：质保期3年；需提供原厂售后服务承诺书，保证售后服务质量。5.投标人提供给买方的货物必须是最新的产品。

03储能电极片真空加热器

技术规格偏离表

包号/序号：001/03产品名称：储能电极片真空加热器数量：2台是否为经过审批采购的进口产品：否，本项目不允许采购进口产品是否为核心产品（非单一产品采购项目时适用）：否

一、产品要求（包括配置、标准及技术指标等详细内容） ★1.控温范围：RT+10～200℃ ▲2.温度分辨率/波动度：0.1℃ / ±1℃3.达到真空度：≤133Pa4.工作环境温度：至少覆盖5～40℃5.内胆尺寸：≥400×350×300（mm）

二、配（附）件的数量及技术要求（详细内容）配有单极真空泵1台

三、技术文件、资料的要求 1.供货时附带产品使用说明书1份、装箱清单1份、合格证1份。

四、安装、调试及所需材料、工具等 1.供货商在接到用户安装通知后，须在5工作日内安排有经验的工程师到现场安装仪器，并在5工作日内安装、调试完毕。2.安装工程师对仪器提出的性能指标须逐项演示给用户。3.安装、调试过程中，安装工程师有义务对用户讲解仪器的操作及注意事项。4.仪器维修：仪器自验收签字之日起，保修期1年（特殊要求除外）。5.投标人提供给买方的货物必须是最新的产品。

04储能器件组装装置

技术规格偏离表

包号/序号：001/04产品名称：储能器件组装装置数量：1套是否为经过审批采购的进口产品：否，本项目不允许采购进口产品是否为核心产品（非单一产品采购项目时适用）：否

一、产品要求（包括配置、标准及技术指标等详细内容） （一）软包电池组装：★1 压缩空气：≥0.6MPa 2 适用规格：冲坑尺寸：≥150×120mm；深度≤6mm3 铝塑膜厚度: 0.1~0.2mm（0.1和0.2模具设计间隙不一样）4 增压缸：≥5T5 拉伸气缸：≥0.2T6送料方式：手动7 模具下平面与底板的平行度：≤0.02 mm（可调）（二）软包电池热封：1 气源：0.5～0.8MPa压缩空气 2 最大封边长度：≥180mm3 最大封边宽度：≥3.5mm4 最大封边厚度：≥0.5mm5 上模最高温度：≥300℃6 下模最高温度：≥300℃▲7 封口时间：0～99h可调

二、技术文件、资料的要求 1.供货时附带产品使用说明书1份、装箱清单1份、合格证1份。

三、安装、调试及所需材料、工具等 1.供货商在接到用户安装通知后，须在5工作日内安排有经验的工程师到现场安装仪器，并在5工作日内安装、调试完毕。2.安装工程师对仪器提出的性能指标须逐项演示给用户。3.安装、调试过程中，安装工程师有义务对用户讲解仪器的操作及注意事项。4.仪器维修：仪器自验收签字之日起，保修期1年（特殊要求除外）。5.投标人提供给买方的货物必须是最新的产品。

05储能电池控温性能测试仪

技术规格偏离表

包号/序号：001/05产品名称：储能电池控温性能测试仪数量：1套是否为经过审批采购的进口产品：否，本项目不允许采购进口产品是否为核心产品（非单一产品采购项目时适用）：否

一、产品要求（包括配置、标准及技术指标等详细内容） 1 输入电源:220V±10%/50HZ★2 电池规格:扣式电池,可放置≥80个扣电;温度范围:至少覆盖0-60℃3 内有效体积:≥200L外箱尺寸:≥宽600*深1000*高1800mm4 冷却方式:风冷式▲5 温度波动度:≤1℃(空载、温度稳定时)▲6 温度偏差:±2.0℃(空载、温度稳定时)★7 升温时间:≤30 min，25℃→60℃▲8 降温时间:≤50 min，25℃→0℃9 制冷剂:R290★10内置≥10台双量程充放电设备，每台技术要求如下：10.1电流量程：可提供1mA&10mA8C1U，1mA~5mA（4台）；1mA~10mA（2台）；2mA~20mA（2台）；10mA~100mA（2台）10.2工作模式：恒流/恒压/恒流恒压/恒功率/充放电，恒阻放电/DCIR/倍率充放电/静置10.3保护条件：过压/欠压/过流/欠流/过充容量等10.4输入阻抗：≤1MΩ（100mA-5A），≤1GΩ（100mA以下）10.5输出方式：四电极（支持参比电极）10.6精度范围（最大误差）：±5uA11电压范围:至少覆盖25mV-5V12充电模式应包括但不限于:恒流充电、恒压充电、恒流恒压充电、恒功率充电13编程形式：支持流程图形式编程14循环保持率：支持记录循环保持率数据（本周的放电容量/上一周的放电容量）*100%▲15限制条件：包括但不限于时间、电压、电流、容量。

二、技术文件、资料的要求 1.供货时附带产品使用说明书1份、装箱清单1份、合格证1份。

三、安装、调试及所需材料、工具等 1.供货商在接到用户安装通知后，须在5工作日内安排有经验的工程师到现场安装仪器，并在5工作日内安装、调试完毕。2.安装工程师对仪器提出的性能指标须逐项演示给用户。3.安装、调试过程中，安装工程师有义务对用户讲解仪器的操作及注意事项。4.仪器维修：仪器自验收签字之日起，保修期1年（特殊要求除外）。5.投标人提供给买方的货物必须是最新的产品。

具体以招标文件内容为准

合同履行期限：合同签订后（120）日历天。

需落实的政府采购政策内容：按照落实政策为促进中小企业、促进残疾人就业、支持监狱企业、支持脱贫攻坚、对于节能产品、环境标志产品、对于本国产品、对于列入《辽宁省创新产品和服务目录》内的产品、服务等相关政策标准执行。

本项目（是/否）接受联合体投标：否

包组编号：002

预算金额（元）：2470000

最高限价（元）：2470000

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002包光伏材料基础化学设备

01原子层沉积系统

技术规格偏离表

包号/序号：002/01产品名称： 原子层沉积系统数量：1台是否为经过审批采购的进口产品：否，本项目不允许采购进口产品是否为核心产品（非单一产品采购项目时适用）： 是

一、产品要求（包括配置、标准及技术指标等详细内容） ★1.腔室：独立的内外嵌套真空双腔结构，内腔安装在外腔内，内腔体上下腔之间无O圈、法兰、螺丝等连接结构；▲2.外腔：真空加热腔，对整个内腔进行加热；★3.内腔：可拆卸内反应腔，负责工艺执行。需要维护时，可直接将整个内腔取下更换维护，内腔采用大气分压进行真空压合；★4.内腔最大可放置直径不小于6英寸晶圆，向下兼容，标配两套内腔，高温、低温、特殊工艺内腔可选；★5.反应温度：1套低温工艺内腔至少覆盖50-250℃；1套高温工艺内腔至少覆盖100-500℃；温度控制精度±1℃；▲6.3路标准加热液态前驱体源，配置高温快速ALD阀（响应时间≤10ms）、手动阀、不小于50ml不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度RT-200℃，控制精度±1℃；▲7.1路常温源，配置快速ALD阀（响应时间≤10ms）、手动阀、≥50ml不锈钢源瓶；8.含两路载气系统，全套管路+VCR密封，前驱体源管路具有在线清洗功能；★9.高性能真空系统，整机极限真空≤5×10-3Torr，真空漏率≤5×10-7 Pa？L/S；10.配置机械泵，额定抽速≥25m3/h；▲11.真空泵前级配置吸附阱，用于吸附部分未反应的前驱体源；12.真空计：一个工艺薄膜规和一个全量程真空规；13.真***网以及气动隔膜阀；14.高精度PLC+工控机沉积自动控制系统，满足高精度ALD沉积需求15.可视化的操作界面，实时显示系统各部分运行状态，可方便的调节温度、流量、脉冲时间等参数，编辑并保存配方参数；16.多用户权限分配，软硬件互锁，异常报警、紧急停机等功能确保安全性；17.沉积模式：连续模式、停流模式；18.人机界面：外挂式触摸屏，可自由选择悬停位置；▲19.在 6 英寸硅晶圆上以厂家提供的工艺配方沉积 300 循环氧化铝，以晶圆上至少9个均匀分散点进行膜厚测试，膜厚非均匀性≤±1%为合格；★20.在 6英寸硅晶圆上以厂家提供的工艺配方沉积 300 循环氧化铪，以晶圆上至少9个均匀分散点进行膜厚测试，膜厚非均匀性≤±2%为合格；21.与手套箱体集成。

二、配（附）件的数量及技术要求（详细内容）1 不少于1个氮气钢瓶，不少于1个压缩空气钢瓶，冷却机，备用氮气橡胶圈不少于1套；2 提供可供仪器验证的源材料：高纯铝源≥10g，高纯锡源≥10g。3 提供高纯（≥99.999%）锡源≥300g、高纯（≥99.999%）铝源≥100g。

三、技术文件、资料的要求 1.供货时提供产品使用说明书1份、装箱清单1份、合格证1份。

四、安装、调试及所需材料、工具等 1.供货商在接到用户安装通知后，须在10工作日内安排有经验的工程师到现场安装仪器，并在14工作日内安装、调试完毕。2.安装工程师对仪器提出的性能指标须逐项演示给用户。3.安装、调试过程中，安装工程师有义务对用户讲解仪器的操作及注意事项。4.人员培训：供货商提供3个工作日的培训。5.仪器维修：仪器自验收签字之日起，质保期1年；需提供原厂售后服务承诺书，保证售后服务质量。6.投标人提供给买方的货物必须是最新的产品。

02磁控溅射沉积系统

包号/序号：002/02产品名称：磁控溅射沉积系统 数量：1台是否为经过审批采购的进口产品：否，本项目不允许采购进口产品是否为核心产品（非单一产品采购项目时适用）： 否

一、产品要求（包括配置、标准及技术指标等详细内容）1 系统的技术指标★极限真空度：≤7 x10-6Pa (经烘烤除气后)；系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7 Pa？l/S；★系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，25分钟之内可达到7.0x10-4 Pa；停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa；★2 溅射真空室组件，1套梨型真空室尺寸不小于Ф500mm x400mm，电动上掀盖结构，内部烘烤温度100～150℃，选用不锈钢材料制造，氩弧焊接，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；腔体整体表面进行抛光处理后电解抛光。★3 磁控溅射靶组件，3套永磁靶：射频溅射与直流溅射兼容，靶内水冷；靶材尺寸：≥Φ50mm（其中一个可以溅射磁性材料）；三个靶****中心，靶与样品距离90～140mm可调；配不少于3套独立气动挡板。▲4 单基片加热台组件，1套 基片可从室温加热到不低于700℃，温度连续可调。配气动控制样品挡板组件不少于1套。▲5 工作气路，1套100SCCM氩、100SCCM氮、50SCCM氧质量流量控制器、充气阀RF1、进气截止阀、混气室、管路、接头等；不少于3路气路；实现PLC在线控制。★6 抽气机组及阀门、管道，1套粗抽管路与旁抽管路配备气动阀组不少于1套；主阀为CF150电动闸板阀不少于1台；7 安装机台架组件，1套优质方钢型材焊接成，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮，可固定，可移动；内装电动升降装置：不少于1套。8 真空测量宽量程数显5227真空计：不少于1套；测量范围：覆盖1.0x105Pa～1.0x10-5Pa。★9 磁控电源，1套600W AE射频电源：不少于1套；升级通讯500W直流电源：不少于2套；升级通讯-1000V脉冲直流偏压电源：不少于1套； ▲10 膜厚监测仪膜厚仪，200型，不少于1套，膜厚探头不少于3个，厚度分辨率不大于1埃。★11 系统采用PLC+嵌入一体式触摸屏实现全自闭后环动控制方式系统设有实验镀膜模式与全自动镀膜模式：在实验镀膜模式情况下，可实现一键启动抽空到达工作真空度后，手动进行镀膜参数设置，实验结束后一键自动充气，整体节省操作时间。此时系统处于开环控制状态。在全自动镀膜模式情况下，系统可按预先设置的工艺菜单自动运行程序镀膜。此模式适于小批量生产及镀膜工艺稳定性、重复再现性实验。此时系统处于全闭环控制状态。系统提供计算机实时通讯，显示记录真空度以及加热温度PID调节设定；设定显示直流电源、射频电源功率参数调整，气体流量控制调节，制定工艺菜单及自动记录设定各项工艺参数存储；提供计算机MFC的工艺气体稳压控制调节；计算机设定显示挡板状态，样品转速等。12 气泵，1200W，不少于1套

二、配（附）件的数量及技术要求（详细内容）1 无氧铜密封垫圈及管路CF16：不少于3个；CF35：不少于3个； CF100：不少于2个；CF150：不少于2个；￠6mm卡套：不少于4套；2 “O”型氟橡胶密封圈：不少于1套3 照明灯：不少于2个；烘烤灯：不少于2个4 样品加热丝：不少于1套；5 小型不锈钢标件：不少于1套；6 电器相关的保险丝：各不少于3个。7 4N金属铝 (Al)靶Ф50*5mm，不少于5件； 4N金属银 (Ag)靶Ф50*5mm，不少于5件；陶瓷ITO靶（Ф50x3mm、绑定2mm铜背板）不少于5套；陶瓷氧化钼 (MoO？)（Ф50×3mm、绑定铜背板2mm）不少于5套；陶瓷氧化锡 (SnO？)（Ф50×3mm、绑定铜背板2mm）不少于5套；陶瓷氮化硅 (SiN？)（Ф50×3mm、绑定铜背板2mm）靶材不少于5套；纯度均大于99.99%。定制样品托不少于6块。

三、技术文件、资料的要求 1.供货时提供产品使用说明书1份、装箱清单1份、合格证1份。

四、软件要求 1.系统设有实验镀膜模式与全自动镀膜模式：在实验镀膜模式情况下，可实现一键启动抽空到达工作真空度后，手动进行镀膜参数设置，实验结束后一键自动充气，整体节省操作时间。此时系统处于开环控制状态。2.在全自动镀膜模式情况下，系统可按预先设置的工艺菜单自动运行程序镀膜。此模式适于小批量生产及镀膜工艺稳定性、重复再现性实验。此时系统处于全闭环控制状态。

五、安装、调试及所需材料、工具等 1.供货商在接到用户安装通知后，须在5工作日内安排有经验的工程师到现场安装仪器，并在5工作日内安装、调试完毕。2.安装工程师对仪器提出的性能指标须逐项演示给用户。3.安装、调试过程中，安装工程师有义务对用户讲解仪器的操作及注意事项。4.人员培训：供货商提供3个工作日的培训。★5.仪器维修：仪器自验收签字之日起，质保期3年；需提供原厂售后服务承诺书，保证售后服务质量。。6.投标人提供给买方的货物必须是最新的产品。

对操作人员进行免费培训。提供及时的售后服务，设备升级后保修期1年，期满后终身提供售后服务。

03高真空蒸发薄膜沉积系统

包号/序号：002/03产品名称：高真空蒸发薄膜沉积系统 数量：1台是否为经过审批采购的进口产品：否，本项目不允许采购进口产品是否为核心产品（非单一产品采购项目时适用）： 否

一、产品要求（包括配置、标准及技术指标等详细内容） ★1.极限真空度：≤6.6×10-6 Pa (经烘烤除气后)；抽速：从大气开始抽气：15分钟之内可达到6.6×10-4 Pa；漏率为关机12小时≤1Pa。2.基片尺寸：可放置不小于6″基片；（也可放置不少于25个20mm*20mm的样品）★3.基片需要通水冷却；★4.基片可连续回转，转速至少覆盖5～20转/分，电机驱动磁耦合机构控制；样品沉积升降转台机构；▲5.蒸发水冷电极不少于3根，组成不少于2个蒸发舟，蒸发控制电源不少于1套，可相互自动切换，蒸发电源电压≥5V，电流≥400A，最大输出功率≥3kW；★6.配备不少于2套束源炉式加热蒸发源，石英坩埚容量不小于5毫升，加热炉最高温度不小于800℃，连续可调；温度控制系统采用程序控温表闭环反馈，连续可调，带细微调节功能，温度控制精度±0.5℃；温控表调节电流值，电流精度≤0.1A；7.270°E型电子枪及高压电源，电子枪功率不小于8 KW且可调；电子枪阳极电压：≥8KV；▲8.电子束可二维扫描调节，最大扫描正负15mm（X，Y），备有遥控盒, 可手持遥控操作扫描；9.水冷式坩埚：六穴坩埚，每个容量≥11 ml，手动切换； ▲10.膜厚监控仪：厚度分辨率不大于1埃。★11.可实现全自动控制镀膜，整个系统使用触摸屏和PLC全自动控制；具备一键抽真空、一键镀膜及手机远程控制功能；提供全面的系统自动保护功能，对各重要部分、关键操作实现互锁保护，包括真空系统、高压电源系统、气体系统、工件旋转等；★12.保证单次镀膜均匀性优于±1%；★13.薄膜表面粗糙度：小于1纳米；14.与手套箱集成

二、配（附）件的数量及技术要求（详细内容）1.各规格无氧铜密封垫圈：不少于1套。2.￠6mm卡套：不少于4套；￠6气瓶接头：不少于2个；￠6塑料气路管: 不少于6米。3.橡胶圈：不少于1套。4.石英晶振片：不少于10个。5.石墨坩锅：不少于4个；无氧铜坩锅：不少于2个。6.钨舟、钼舟：各不少于3个。7.电子枪灯丝：不少于10个。8.电器相关的保险丝：各10个。9.高纯银颗粒99.99%，φ2×5mm，不少于1000g；高纯铝颗粒 99.999%，φ3×3mm，不少于5000g；ITO颗粒99.99%，90:10，低密度，1-3mm，不少于1500g；高纯（≥99.99%）氧化钼 (MoOX)，不少于1500g。10.同时提供设备检验所用原材料。11.定制样品托不少于6块。

三、技术文件、资料的要求 1.供货时提供产品使用说明书1份、装箱清单1份、合格证1份。

四、软件要求 自动化控制工艺模块

五、安装、调试及所需材料、工具等 1.供货商在接到用户安装通知后，须在5工作日内安排有经验的工程师到现场安装仪器，并在5工作日内安装、调试完毕。2.安装工程师对仪器提出的性能指标须逐项演示给用户。3.安装、调试过程中，安装工程师有义务对用户讲解仪器的操作及注意事项。4.人员培训：供货商提供3个工作日的培训。5.仪器维修：仪器自验收签字之日起，保修期1年（特殊要求除外）。6.投标人提供给买方的货物必须是最新的产品。

04手套箱

包号/序号：002/04产品名称： 手套箱数量：1台是否为经过审批采购的进口产品：否，本项目不允许采购进口产品是否为核心产品（非单一产品采购项目时适用）：否

一、产品要求（包括配置、标准及技术指标等详细内容） ▲1.主要参数：水氧指标：小于1 ppm；泄露率：小于0.001vol%/h；★2.手套箱箱体2.1采用可拓展箱体，可以对接非标定制设备；2.2箱体内部尺寸：长度≥3660mm、深度≥750mm、高度≥900mm；2.3箱体材料：304不锈钢，采用法兰视窗技术，倾斜的视窗，厚度≥8 mm；2.4手套：丁基橡胶，厚度≥0.4mm，直径 ≥8”，长度≥32”；2.5过滤器：规格0.3微米，1个气体入口和1个气体出口。3.搁物架：不锈钢材料，内置不少于3层，可调节。★4.管路：全部采用不锈钢，并采用集成阀系统。5.接口：备用接口不少于3个，DN 40 KF，电源接口 不少于1 个（220V）。6.大过渡舱：直径≥360mm,长度≥600mm；材料：304不锈钢；滑动托盘：304不锈钢；舱门：双门，阳极氧化铝材料，厚度≥10mm，竖直操作，带提升机构，内外仓门可手动操作也可自动操作。7.小过渡舱：直径≥150mm，长度≥300mm，进入手套箱部分长度≥100mm；材料：304不锈钢；舱门：双门，翻盖式，采用横向门把手结构设计，不接受杠杆式。8.气体净化循环系统：容器材料：304不锈钢。9.净化材料：铜触媒：≤5kg，分子筛：≤5kg。★10.循环系统：工作气体：氮气、氩气；循环能力：加装变频。11.再生：PLC自动控制再生过程，再生气体：工作气体与氢气混合气体(氢气5-10%)；净化能力，除氧≥60L，除水≥2kg，水氧指标≤1ppm。12.阀门：主阀为DN 40 KF ，电气动角阀；控制阀为电磁集成阀。13.管路：全部采用不锈钢14.控制系统：包括自诊断、断电自启动特性，具有压力控制和自适应功能；自动控制、循环控制、密码保护；单元控制采用PLC触摸屏。其中，压力控制：控制箱体、过渡舱的压力，箱体工作压力+/- 10mbar内可以自由设定，超出+/- 12mbar系统自动保护。15.真空系统控制：可手动或通过PLC启动，流量≥12m3/h ,可对过渡舱抽真空，并保持箱体压力平衡，真空泵极限真空度≤2×10-1Pa。16.水分析仪：测量范围：0～500ppm，精度为≤0.01ppm。17.氧分析仪：测量范围：0～1000ppm，精度为≤0.01ppm。18.有机溶剂吸附器：放置箱内，尺寸：直径≤136mm,高度≤256mm，填充活性炭，可快速更换材料，并且不破坏高纯气氛。19.可与蒸发、原子层沉积和太阳光模拟器等设备集成。20.采用独立控制净化系统，手套箱再生带流量计。21.操作系统可以连接电脑检测水氧值等数据。

二、配（附）件的数量及技术要求（详细内容）1.玻璃仪器：样品管、毛细管、滴液抽气瓶。2.备用手套1副，净化材料（分子筛）≥3套，适用于设备减压阀≥2个，水洗活性炭≥10kg，气体管道滤芯≥1个。3.设备初步调试所需气体。4. 40L钢瓶不少于30瓶气体，随用随送。

技术文件、资料的要求 1.供货时附带产品使用说明书1份、装箱清单1份、合格证1份。

安装、调试及所需材料、工具等 1.供货商在接到用户安装通知后，须在5工作日内安排有经验的工程师到现场安装仪器，并在5工作日内安装、调试完毕。2.安装工程师对仪器提出的性能指标须逐项演示给用户。3.安装、调试过程中，安装工程师有义务对用户讲解仪器的操作及注意事项。4.人员培训：供货商提供3个工作日的培训。★5.仪器维修：仪器自验收签字之日起，质保期3年；需提供原厂售后服务承诺书，保证售后服务质量。6.投标人提供给买方的货物必须是最新的产品。

05太阳光模拟器

包号/序号：002/05产品名称：太阳光模拟器 数量：1台是否为经过审批采购的进口产品：否，本项目不允许采购进口产品是否为核心产品（非单一产品采购项目时适用）： 否

一、产品要求（包括配置、标准及技术指标等详细内容） 1. 太阳光模拟器★（1）光源类型：氙灯光源▲（2）光源功率：≥300W★（3）光照面积：≥50mm×50mm（4）光照方向：上、下、左、右四个方向可切换，便于手套箱集成★（5）光谱匹配度：AM1.5 G，≤12.5%，A+级（投标文件提供太阳光模拟器实测光谱与AM1.5G标准光谱对比曲线，与评估结果）（6）辐射空间均匀性：≤2%，A级▲（7）时间不稳定性：≤1%，A+ 级（8）辐射强度：≥1个Sun，最高可达1500 W/m2★（9）光强调节：计算机IV软件控制自动调节，可不改变光谱调控光强输出0%~100%，1%光强调整精度，光强最小可达0.05 sun，可实时测量。投标文件提供佐证资料。（10）光学快门：单叶片机械快门，可以由电源手动或软件自动控制光照输出或关闭（11）准直角度：半角≤ 1度（12）工作距离：≥25cm（13）外置滤片架，便于滤光片安装使用。（14）电源控制：不小于3.5寸彩色触摸屏控制（15）关机延迟冷却系统, 用户可自行设定 (预设600秒) （16）过热自动保护装置 （17）安全锁: 灯源箱外盖打开时，自动关闭灯源（18）尘护盾：功率≥15W，风量≥250m3/h，直径4寸，连接长度3m，噪声≤21dB （19）配掩膜板不少于3块（20）联合手套箱使用。 2. 测量源表（1）整合式 4 象限信号源的测量功能（2）彩色显示屏不小于4.3 吋，支援图形和数值显示模式（3）电流测量最大范围≥1.5A（4）电压测量最大范围≥20V（5）最小电源分辨率为≤10 pA/1μV（6）最小测量分辨率为≤1 pA/100 nV3. 标准电池（1）电池类型：晶硅电池（2）有效面积：不小于2cm×2cm（3）窗口：KG5（4）标准lemon接口（5）Pt sensor传感器★（6）提供溯源到NREL的报告。4. 测量夹具（1）标准薄膜电池样品台（2）四线法测量香蕉接头（3）六段切换开关（4）可测量子电池数量：≥ 6（5）子电池间距：≥2.54mm（6）可以对多子电池样品手动切换选择测量。兼容升级自动切换顺序/选择测量，软件可设置子电池通道开关。

二、配（附）件的数量及技术要求（详细内容）1.样品台连接线缆：不少于1根。

三、技术文件、资料的要求 1.供货时附带产品使用说明书1份、装箱清单1份、合格证1份。

四、软件要求 免费配套仪器控制和数据处理系统（包含硬件），能在Win10或Win11操作系统下运行，并提供免费升级，并具备以下功能：1 IV测量软件：★（1）IV测量软件支持源表：吉时利2400系列、2450系列、2600系列、是德B2900 系列▲（2）全自动电流电压特性测量 / IV曲线测量（3）可测量: Isc, Jsc, Jmax, Voc, Pmax, Vmax, Imax, η, FF, Rs, Rsh等。（4）正向扫描、逆向扫描、自动正逆扫描测量（5）自动极性切换测量（6）IV双阶段测量（7）IV初始偏压 & 延时设定（8）Quick-note 实时备注（9）Semi-log IV显示切换（10）Jsc显示切换（11）IT Monitor工具（I-t、V-t、MPPT 追踪功能），在测量过程中，手动电压调整实时生效▲（12）Light soaking测量功能 (MPPT)（13）一键汇出数据表（CSV / JPG档）（14）自动备份测量数据（15）Recipe快速配置测量参数（16）项目式管理测试条件（17）自定义多段变光强测量，自由设定测试所需的光强条件，系统将自动调整光源输出并依序完成测量。（18）扫频-电压-增加-速率-控制（19）测量照光控制，整合功能测量－光源＆时序控制（20）IEC国际标准系数实时修正功能 : 1SUN修正/MMF修正/温度系数修正 (需搭配温度表)（21）支持对多次测量数据进行实时、快速统计计算（22）支持NREL 渐近检测法★2 IV数据分析软件，针对太阳能电池IV特性的研究，整合Pyhton可支持的高密度数据库，采用先进的算法，进行多种建模分析。分析功能包括：理想因子n分析 (Ideal Factor)、光谱失配因子MMF修正、空间电荷限制电流SCLC 拟合分析、二极管建模拟合分析、温度系数修正、4T叠层电池转换效率自动计算等。

五、安装、调试及所需材料、工具等 1.供货商在接到用户安装通知后，须在5工作日内安排有经验的工程师到现场安装仪器，并在5工作日内安装、调试完毕。2.安装工程师对仪器提出的性能指标须逐项演示给用户。3.安装、调试过程中，安装工程师有义务对用户讲解仪器的操作及注意事项。4.人员培训：供货商提供3个工作日的培训。5.仪器维修：仪器自验收签字之日起，保修期1年。6.投标人提供给买方的货物必须是最新的产品。

具体以招标文件为准

合同履行期限：合同签订后（120）日历天。

需落实的政府采购政策内容：按照落实政策为促进中小企业、促进残疾人就业、支持监狱企业、支持脱贫攻坚、对于节能产品、环境标志产品、对于本国产品、对于列入《辽宁省创新产品和服务目录》内的产品、服务等相关政策标准执行。

本项目（是/否）接受联合体投标：否

包组编号：003

预算金额（元）：1420000

最高限价（元）：1420000

采购需求： 查看

003包光伏材料性能评价设备

01台阶仪

包号/序号：003/01产品名称： 台阶仪数量：1台是否为经过审批采购的进口产品：否，本项目不允许采购进口产品是否为核心产品（非单一产品采购项目时适用）： 是

一、产品要求（包括配置、标准及技术指标等详细内容） ▲1.最大扫描长度≥150mm；▲2.测试所允许的最大样品高度≥50mm；▲3.垂直方向的扫描范围≥1000微米；★4.测试高度方向的重复性≤0.4nm（1微米的标准台阶）；★5.测试垂直分辨率≤0.1nm；★6.可以清晰的扫描5nm以下的台阶样品（提供证明材料-扫描的样品图片及扫描过程视频）▲7.XY移动载物台X≥150mm行程,Y≥150mm行程；▲8.样品台尺寸不小于8英寸，可360°自动旋转；▲9.探针压力：1-15mg范围内可连续调节，能精确控制探针压力，保证在不同力下不破坏样品；10.系统具有超光滑平面,保证扫描基线稳定性；11.多次扫描分析≥15次；★12.仪器采用成熟的LVDT传感器，保证仪器稳定性，数据重复性和可靠性；13.仪器配有环境保护罩，防止静电环境影响，带有观察窗；14.仪器具有三维扫描功能；15.配有薄膜应力测量功能；16.数据分析与处理单元，可实现数据采集、储存、分析处理及可视化（不小于23寸屏幕）。17.电源配置AC220V 50/60Hz。

二、配（附）件的数量及技术要求（详细内容）★1.标配带有磁吸附自动更换探针附件工具1个，而不是固定在设备主机上（提供证明材料-照片和视频）；2.气浮式防震台不少于1台；★3.LIS 3 B性探针1根，半径2um；4. 1um标样1个（含计量证书）。

三、技术文件、资料的要求1.供货时附带产品使用说明书1份、装箱清单1份、合格证1份。

四、软件要求 提供专用分析软件并终身免费升级。

五、安装、调试及所需材料、工具等 1.供货商在接到用户安装通知后，须在5工作日内安排有经验的工程师到现场安装仪器，并在5工作日内安装、调试完毕。2.安装工程师对仪器提出的性能指标须逐项演示给用户。3.安装、调试过程中，安装工程师有义务对用户讲解仪器的操作及注意事项。4.人员培训：供货商提供3个工作日的培训。5.仪器维修：仪器自验收签字之日起，保修期1年（特殊要求除外）。6.投标人提供给买方的货物必须是最新的产品。

02多功能X射线衍射仪

包号/序号：003/02产品名称：多功能X射线衍射仪 数量：1台是否为经过审批采购的进口产品：否，本项目不允许采购进口产品是否为核心产品（非单一产品采购项目时适用）： 否

一、产品要求（包括配置、标准及技术指标等详细内容） 1. X射线光源1.1. DF3型高频高压固态X射线发生器部分（不接受油浸高压发生器）1.1.1 最大输出功率：≥3kW1.1.2 额定电压：不小于60kV1.1.3 额定电流：不小于60mA▲1.1.4 电流电压稳定度：至少覆盖﹣0.005%至﹢0.005%(外电压波动10%时)▲1.1.5 安装Cu靶时，仪器稳定工作在管电压40KV，管电流40mA1.2 X射线光管部分▲1.2.1 X射线光管：Cu靶，金属陶瓷X光管，功率2.4kW，焦斑大小：≥1×12 mm▲1.2.2 采用旋转光管技术，无需拆卸光管，即可实现线焦斑和点焦斑的转换★1.3 X射线防护：射线防护装置联锁机构，防护罩外任何一点的计量小于1μSV/h。2. 测角仪部分★2.1 测角仪：θ/θ样品水平，采用光学编码器技术与电机双重定位2.2 扫描方式：连续、步进、Omg、XRR、GIXRD测量▲2.3 2θ转动范围：-3°~160°▲2.4 测角仪半径：≥185mm▲2.5 可读最小步长：0.0001°，角度重现性: 0.0001°▲2.6 最高定位速度：≥1000°/min★2.7 全自动光学校正：更换X射线管、或仪器校准时自动调整、锁定光学系统，保证2θ角测量准确性▲2.8 2θ线性精度：国际标准样品，全谱范围内所有衍射峰的2θ角度偏差不超过±0.02度3. 探测器部分：3.1封闭正比探测器 ▲3.1.1 能谱分辨率：小于25% （Cu Kα谱线）▲3.1.2 最大线性计数率：≥5×105cps3.2半导体阵列探测器★3.2.1像素尺寸：≤50μm★3.2.2像素数：≥280×280pixel▲3.2.3计数率：≥3×106 counts/s/pixel▲3.2.4具备软件选择0D 1D 2D测量模式3.2.5对含有Fe、Co、Ni的样品能有效除去荧光3.2.6 2D模式能获取2θ角4度范围内的衍射环4.循环水冷系统：整机外置水循环冷却系统，制冷功率不低于2kW，满足仪器长时间运行，软件可实时显示X射线管中水温、流量、流速等信息。★5.投标时提供有效的生产商射线装置生产许可证

二、配（附）件的数量及技术要求（详细内容） ★衍射仪用三轴样品架1套，适用于板材、块材上及基板上的薄膜分析，具有Chi、Phi、Z扫描功能，每一种功能都有相应的计算软件。技术要求：可实现完整极图测量；应力测量；薄膜测量、Phi 扫描（样品表面旋转）；最大可测量样品尺寸：不小于φ70×12mm；附件有定位结构，安装、拆卸方便，即插即用，不需要进行光路校正；配置激光测距定位装置，以保证衍射面准确性；圆光嘴尺寸：Φ1、Φ0.5mm；SS狭缝7mm、RS狭缝5mm；Chi轴：0°～70°，最小步宽角度不大于0.01°；Phi轴：0°～360°，最小步宽角度不大于0.01°；Z轴：0~8mm ，移动精度：0.005mm。

三、技术文件、资料的要求 1.供货时附带产品使用说明书1份、装箱清单1份、合格证1份。★2.供货时提供所供产品的射线装置豁免备案文件（或具有相同效力证明文件）

四、软件要求 ★1.免费配套仪器控制和数据处理系统（包含硬件），能在Win10或Win11操作系统下运行，并提供免费升级。2.免费配套以下功能软件，并提供免费升级：2.1物相检索软件：含原始数据直接检索功能2.2物相定量分析：含基本参数无标样定量分析软件2.3无标准晶粒大小分析及微观应力分析2.4衍射数据卡片库与晶体结构数据库。★3.提供KCa0.98Sr0.02Pr(MoO3)4材料测试方法及精修数据截图4 配套XRD试验数据档案系统★4.1 试验数据存储于管理模块4.1.1 系统应支持为每次XRD测试自动生成唯一的实验记录，并支持自定义编号规则（如按样品编号+测试序号自动生成）。记录内容至少包括：样品信息、测试条件、原始数据文件等。4.1.2 系统应支持两种数据录入方式： （1）手动输入角度-强度参数； （2）直接上传仪器原始数据文件（至少支持.csv、.raw、.txt、.xye等常见格式），系统自动解析并绘制图谱。同一样品在不同时间多次测试时，系统应保留所有历史版本，支持版本切换与对比查看。系统需内置直接预览仪器原始文件能力，在打开不同版本的源文件时可对比查看；需支持全文检索试验结果能力，可根据日期、时间、人物等不同角度快速检索试验历史数据★4.2 报告生成与输出实验记录详情页需增设“生成报告”功能，用户点击该功能即可一键生成试验简要报告（草稿版），此报告能自动整合系统中已记录的相关数据并呈现。

五、安装、调试及所需材料、工具等 1.交货期：合同签订后1个月内。2.培训、安装、技术文件：免费安装调试及现场培训、提供全套技术文件。3.技术服务：4小时内做出维修响应，2-4个工作日内到达用户现场4.质量保证和售后服务要求：调试合格后1年内免费保修

其它1.仪器及生产商必须满足的相关安全标准★2.射线防护标准：射线装置生产许可证以及射线装置豁免备案文件（或具有相同效力证明文件，供货时提供）

03碳酸化反应釜

包号/序号：003/03产品名称： 碳酸化反应釜数量：1台是否为经过审批采购的进口产品：否，本项目不允许采购进口产品是否为核心产品（非单一产品采购项目时适用）： 否

一、产品要求（包括配置、标准及技术指标等详细内容） ★1.CO2浓度试验范围：0～99%VOL，CO2分辨率：0.01%VOL2.CO2控制精度：±2%F.S▲3.压力控制范围：0.01MPa(A)～0.6MPa(A)，压力显示精度：≤0.001MPa4.温度控制范围：50℃～100℃，温度分辨率：≤0.01℃，温度控制精度：≤1℃5.实时显示数据：CO2浓度、温湿度、压力6.文件导出格式：Excel文件▲7.报警功能：CO2预警、超压、超温▲8.试验启动保护：软件自动判断，试验机门关闭后启动★9.试验腔体空间：10L~25L10.试验箱采用圆罐型，防爆等级：ExdⅡCT6▲11.釜体材质：304不锈钢，釜体厚度：≥6mm12.最大功率：不小于3kW。

二、配（附）件的数量及技术要求（详细内容）配置CO2钢瓶1个，N2钢瓶1个, 减压阀2个（钢瓶检验合格证）在有效期内。

三、技术文件、资料的要求 1.供货时附带产品使用说明书1份、装箱清单1份、合格证1份。

四、软件要求★配套数据采集与智能材料设计模拟系统（包括硬件和软件），满足以下要求：1 功能不低于：I9 14900K、128G DDR、2T、RTX5090 D24G，可用于大体系DFT/MD+AI辅助材料计算与模拟。2 屏幕不低于32寸。3 可完成数据采集、存储与导出。

五、安装、调试及所需材料、工具等 1.供货商在接到用户安装通知后，须在5工作日内安排有经验的工程师到现场安装仪器，并在5工作日内安装、调试完毕。2.安装工程师对仪器提出的性能指标须逐项演示给用户。3.安装、调试过程中，安装工程师有义务对用户讲解仪器的操作及注意事项。4.人员培训：供货商提供3个工作日的培训。5.仪器维修：仪器自验收签字之日起，保修期1年（特殊要求除外）。6.投标人提供给买方的货物必须是最新的产品。

具体以招标文件为准

合同履行期限：合同签订后（120）日历天。

需落实的政府采购政策内容：按照落实政策为促进中小企业、促进残疾人就业、支持监狱企业、支持脱贫攻坚、对于节能产品、环境标志产品、对于本国产品、对于列入《辽宁省创新产品和服务目录》内的产品、服务等相关政策标准执行。

本项目（是/否）接受联合体投标：否

二、供应商的资格要求

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定。

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目专门面向中小企业采购,本项目产品的生产厂商应为中小微企业或残疾人福利性单位或为监狱企业；

3.本项目的特定资格要求：无

三、政府采购供应商入库须知

参加辽宁省政府采购活动的供应商未进入辽宁省政府采购供应商库的，***网 “首页—政策法规”中公布的“政府采购供应商入库”的相关规定，及时办理入库登记手续。填写单位名称、统一社会信用代码和联系人等简要信息，由系统自动开通账号后，即可参与政府采购活动。具体规定详见《关于进一步优化辽宁省政府采购供应商入库程序的通知》（辽财采函〔2020〕198号）。

四、获取招标文件

时间：2026年04月17日20时00分至2026年04月25日00时00分（北京时间，法定节假日除外）

地点：***网获取

方式：线上

售价：免费

五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

2026年05月13日 09时30分（北京时间）

地点：投标文件***网；备份文件按招标文件要求自行选择递交；开标地点为辽宁励合招标代理有限公司。

六、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

七、质疑与投诉

供应商认为自己的权益受到损害的，可以在知道或者应知其权益受到损害之日起七个工作日内，向采购代理机构或采购人提出质疑。

1、接收质疑函方式：线上或书面纸质质疑函

2、质疑函内容、格式：应符合《政府采购质疑和投诉办法》相关规定和财政部制定的《政府采购质疑函范本》格式，***网。

质疑供应商对采购人、采购代理机构的答复不满意，或者采购人、采购代理机构未在规定时间内作出答复的，可以在答复期满后15个工作日内向本级财政部门提起投诉。

八、其他补充事宜

1、为推广和落实政府采购电子招投标业务，参加本项目的供应商，***网“首页-采购指南”中公布的“***网新版系统供应商操作手册及视频”及《关于启用政府采购数字认证和电子招投标业务有关事宜的通知》（辽财采〔2020〕298号）的相关规定，并按照相关要求及时、自主办理CA数字证书并进行投标相关操作；对因供应商自身原因未能参与投标所造成的所有后果，由其自行承担。 2、供应商在获取招标（采购）文件过程中，应正确填写并如实填写联系人、联系方式、邮箱等相关信息，如因信息预留错误而未能与其及时取得联系，由此造成的一切后果，由供应商自行承担。 3、供应商须自主学习电子标书的制作教程，***网“首页-采购指南”中公布的“***网新版系统供应商操作手册及视频”；并按相关要求进行制作。如未按照要求制作，将会影响文件的上传，造成的所有后果，由供应商自行承担。 4、项目投标（响应）***网上递交及备份投标（响应）文件递交两种形式同时执行的方式进行，备份投标（响应）文件递交介质形式具体规定详见《关于完善政府采购电子评审业务流程等有关事宜的通知》（辽财采函〔2021〕363号）。供应商须确保备份投标（响应）文件与电子评审系统中上传的投标（响应）文件内容、格式的一致性。如因供应商自身原因导***网上递交投标（响应）文件或仅提供备份投标（响应）文件的按照无效投标（响应）处理，***网相关通知。 5、供应商在投标（响应）的***网公告信息，及时获取更正公告等相关信息，否则，由此造成的一切后果，由供应商自行承担。 6、在投标响应过程中，如遇系统操作问题请咨询技术支持电话：400****588；如遇CA办理问题请咨询所办理的CA认证机构。 7、本项目兼投兼中，同一供应商可以同时参与同一项目的多个采购包的投标，并且有可能同时中标多个采购包。

九、对本次招标提出询问，请按以下方式联系

1.采购人信息

名 称： 沈阳建筑大学

地 址： ****路****号

联系方式：024-****0652

2.采购代理机构信息：

名 称：辽宁励合招标代理有限公司

地 址：****路****号****大厦

联系方式：024-****5151

邮箱地址：ln****@****.com

开户行：招商银行股份有限公司沈阳分行

账户名称：辽宁励合招标代理有限公司

账号：124905991510201

3.项目联系方式

项目联系人：芦玲玲、许帅宏、刘戎、王亚男

电 话：024-****5151