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| 采购项目名称 | 8英寸手动探针台 | 采购项目编号 | 清采比选20252306号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | 2025-11-28 02:40:31 | 公告截止时间 | 2025-12-01 03:00:00 |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 咨询通道已关闭 |
| 签约时间要求 | 成交后5个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后3个工作日内 |
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 最高限价 | ￥ 390,000.00 未公布 | ||
| 国内合同付款方式 | 合同签订后50%，验收合格后50% | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学 | ||
| 供应商特殊资质要求 |
无 |
||
采购清单1
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 8英寸手动探针台 | 1 | 套 |
| 品牌 品牌1 | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌2 | |
| 型号 | |
| 品牌3 | |
| 型号 | |
| 单价 | ￥ 390,000.00 |
| 技术参数及配置要求 | 1. 台体： ① 尺寸: ≤750mm长×700mm宽×700mm高； ② ***平台具备旋钮快速升降手柄（提供实机照片），并且调节档位不少于两档，粗调优于3mm和微调优于300μm，***平台可以上下微调，行程≥30mm，升降精度≤1µm； 2. 样品台及温控系统： ① 直径不小于8英寸，平整度≤±10µm； ② X-Y-Z轴行程：≥200mm×200mm×40mm，每个轴都带有自锁功能；R轴旋转行程为≥±45°，卡盘角度可旋转微调，调节精度优于0.002°； ③ Chuck采用气控式卡盘移动技术，气浮具备快速移动功能， X轴可单独移动，Y轴可单独移动，XY轴可同步移动，XY轴可同时锁死； ④ 具备微调移动模式，卡盘X/Y轴为无间隙移动，移动精度优于1µm； ⑤ ****中心吸附孔和外围多孔吸附，具有8、6、4、2****中心真空吸附孔，采用独立控制方式；并配有AS-568 O型圈至少两根，全氟复合材料：8575，尺寸329.79×3.53mm。 ⑥ 卡盘三轴结构，带顶板层，防护层和接地屏蔽层；卡盘顶板层的电学独立悬空，具备背电极接口；卡盘漏电流≤300fA@10V@25℃；（提供实测设备卡盘漏电测试数据图）；卡盘具备加热功能，温度范围为室温~300℃，温度设置和显示分辨率优于0.1℃； ⑦ 温度稳定性：优于±0.1℃，温度均匀性：室温~100℃ <±0.5℃；100℃~150℃：±0.75%；150℃~200℃：±1% ; 200℃~300℃：±2℃；（提供温度均匀性实测数据报告） ⑧ 卡盘温度升降温时间：室温~200℃: 不大于25 min；200~300℃: 不大于20 min；300℃~室温: 不大于50 min； ⑨ 卡盘温控系统可触摸屏控制，可编程控制升温，带通信接口，有温度补偿功能，可以精确显示Chuck 表面真实温度，可编入集成测试软件系统； ⑩ 配有水冷机和管路，用于卡盘的降温和卡盘与卡盘安装底座间的温度隔离； 3. 光学系统：配备光学显微镜，CCD相机，21英寸及以上高清显示器 ① 可调节显微镜XY轴移动范围不小于2 inch × 2 inch，精度优于1微米；显微镜Z轴可气动升降大于等于50mm； ② 目镜倍率不小于20倍，总的放大倍率范围优于16倍~100倍，带环形LED光源； ③ 配有显微镜调焦机构：Z 轴移动行程 不小于50mm； ④ 具备CCD接口； ⑤ 具备HDMI接口，高清1/2英寸CCD相机，分辨率优于1920×1080（1080p），帧率优于60fps，带SD卡可存储无压缩BMP格式图片，带HDMI视频线缆，3米长； ⑥ 配置21英寸及以上高清显示器，带HDMI 和 VGA接口； 4. ***平台： ① 探针座尺寸不大于115mm长×115mm宽×115mm高； ② 探针座X-Y-Z 方向的移动行程分别为≥14mm，移动分辨率优于0.6μm/°，线性移动，磁力吸附，带开关，针座螺纹间距100 TPI及以下，数量不少于5套； ③ 配有开尔文探针夹具，带两个独立的SSMC公接头，漏电流优于100fA/10V @25℃，数量不少于 4套； ④ 配有开尔文探针夹具安装转接块，数量不少于 4套； ⑤ 配有开尔文探针夹具使用同轴探针（针尖直径不大于5μm），数量不少于 1套； ⑥ 配有开尔文探针夹具使用线缆（每套含两根线）接头形式为SSMC母转三轴接头公，漏电流优于100fA/10V @25℃，数量不少于 4套； ⑦ ***平台升降调节功能可加装探针卡，针卡可重新定位； 5. 配备屏蔽箱，具有开门结构，空气弹簧结构，带接地端子，左右两侧有转接头安装板，每侧不少于8个孔位；后部有隐蔽型线缆出口；***平台设计； 6. 配备防震桌：固有频率＜1.5Hz~3Hz，同负载和实际使用情况相关；平面度：0.02~0.05mm/600mm×600mm；台面加支架总高度低于800mm，总高度可调范围优于-10~+15mm； 7. 配备探针电学测试系统：NAS网络存储数据备份模块，不少于四核心四盘位，配备不少于2块8TB硬盘；配备数据处理模块：显示屏不小于14英寸、处理器不低于M5(10+10核)、内存不低于24G、存储容量不低于1T固态； 8. 配备射频磁吸针座含针臂（针对以下技术参数提供原厂测试报告）： ① 配置左、右手系射频针座各不少于1支； ② XYZ行程不小于12.5mm/12.5mm/12.5mm。特征分辨率<1μm，丝杆周圈分辨率优于250μm； ③ Theta轴调节范围±5°，Footprint尺寸不大于90mm×60mm，磁吸或真空方式； ④ 针座侧板具有阵列丝孔位置，方便调整探针的Z方向安装高度； ⑤ 针座具备高精度交叉滚子轴承设计方案，三个方向独立性稳定可靠性； ⑥ 具备过行程保护机制避免针座锁止产生应变，破坏精度； ⑦ 满足晶圆级射频测试，具备直流混合多触点测试功能。 9. 配备超高频DC至67GHz波段共面波导探针（针对以下技术参数提供原厂测试报告）： ① 配备超高频波段共面波导探针，频率范围DC-67GHz，探针同轴接口1.85mm（Female），45°斜角或者90°直角可以根据电缆灵活选配。 ② 插入损耗＜2.0dB@65GHz@100-250μm Pitch； ③ 针尖结构与Pitch间距：GSG、150μm和100μm； ④ 探针承受温度范围-65℃-200℃；最大DC电压/电流：200V、5A；承载最大射频功率30W@2GHz，承载最大射频功率8W@10GHz； ⑤ Rc接触电阻典型值＜100mΩ（AL)； ⑥ 寿命＞500万次@Au Pad；可测试最小Pad尺寸：80μm×80μm； ⑦ 数量：Pitch 150μm规格2支，Pitch 100μm规格1支； 10. 配备超高频DC至67GHz波段校准片（针对以下技术参数提供原厂测试报告）： ① 校准片支持Pitch 100-250μm 间距67GHz及以下频率探针校准，支持SOLT、SOLR、LRRM、LRM、TRL、Multi-Line TRL等校准算法； ② 包含不少于40组GSG校准图案，每组含有Load、Short、Thru图案，且50Ω Load直流电阻的精度≤±0.3%，另外含有不少于8个OPEN图案； ③ 校准基片除了校准的图案外，还需携带不少于5组10条验证延迟线, 分别为3.0ps、7ps、14ps、27ps、40ps，可用于校准质量验证以及支持TRL等校准算法； ④ 校准片上包括探针对准Align Mark的图案，以提升扎针效率和质量； ⑤ 数量：不少于1片 11. 配备探针接触调水平片 ① 配置接触调水平片不少于1片，用于调整射频探针针尖的共面性； ② 基板尺寸近似15mm×22mm，陶瓷材质，表面镀金。 12. 配备高稳定性裸纤光针及支架 ① 配置多模带lens透镜光波探针及裸纤探针各一套。 ② 波长范围850nm-1550nm，插入损耗＜0.5dB； ③ 尾纤接口FC/APC； ④ 裸纤针规格可以根据需求进行更换，可选单模/多模、LENS/斜面针尖； ⑤ 具备找光效率高优势，便于快速定位。针臂与铰合支点齐平，且肘臂旋转到最低位置时，裸光纤头与竖直方向≤9°； ⑥ 尾纤固定在刀架肘臂槽内，且光纤针尖露出肘臂距离可调； ⑦ 具备手动单纤耦合模式。 13. 配备射频线缆（针对以下技术参数提供原厂测试报告）： ① 射频频率：DC至67G； ② 阻抗：≤50Ω； ③ 插入损耗：≤3.7 dB； ④ 回波损耗：≥12.7 dB to DC - 67GHz； ⑤ 接口方式：1.85mm，一端为公头一端为母头； ⑥ 相位稳定性与挠曲：≤12º@50GHz； ⑦ 振幅稳定性与挠曲：≤±0.15dB@50GHz； ⑧ 线缆长度：不少于900mm，线缆整体均带铠甲，数量不少于2条； 14. 配备原厂半自动控制软件，并提供芯片测量和晶圆图形创建、测试结果分bin显示、多针编辑、晶圆图形文件导入、测试仪器参数修改和数据保存管理等实机演示操作视频； 15. 提供原厂射频测试校准软件，支持SOL、SOLT、SOLR、LRM等不同校准方法； 16. 如有部分配件为进口产品，需提供原厂授权证书； 17. 设备台体与卡盘为同一厂商（提供品牌证明）； 18. 提供厂家售后服务承诺书（盖单位公章）； 19. 提交附带详细配置清单的报价单（盖单位公章）。 20. 合同签订后20日内到货。 |
| 质保期 | 12个月 |
清华大学
2025-11-28 02:40:31
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