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| 项目名称 | 离子枪及残余气体分析配套系统（清采比选20261304号）延期公告 |
| 采购编号 | 清采比选20261304号 |
| 采购单位 | 清华大学 |
| 预算金额 | ￥ 200000 |
| 付款方式 | 合同签订后50%，到货验收合格后50% |
| 交货地点 | ****楼 |
| 签约要求 | 成交后30个工作日内 |
| 交货要求 | 签订合同后30个自然日内 |
采购物资明细
| 序号 | 物资名称 | 数量 | 单位 | 单价 | 质保期 | 技术参数要求 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 离子枪及残余气体分析配套系统 | 1 | 台 | ￥ 200000 | 离子枪：安装法兰 CF35；离子能量范围 0.12–5 keV；工作距离 30 mm 时电流密度 >120 μA；最高烘烤温度 250 ℃；工作压力范围 \(10^{-5}\sim10^{-6}\) mbar。 残余气体分析仪：质量范围 1–100 amu；检测极限 \(5\times10^{-14}\) Torr；支持 RS232 通讯。 微漏阀：腔体侧 CF35、气体侧 CF16；压力调节范围 1 bar–\(10^{-11}\) Torr；控制泄漏率约 \(1.33\times10^{-9}\) mbar·L/s。 氩气及洗气气路：包含 CF35 全金属角阀、内抛光波纹管及转接接头；系统漏率 <\(1.0\times10^{-11}\) mbar·L/s。 |
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本公告地址：https://www.120bid.com/view/11858/OlLGIKEBni4p5U9X0CGv.html
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