薄膜电阻测试仪

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1. 1. 测量范围 1.1电阻率：10-5～105 Ω.cm(可扩展)； ★1.2.方块电阻：10-4～106 Ω/□(可扩展)； 1.3.电导率：10-5～105 s/cm； 1.4.电阻：10-5～105 Ω； ★2.可测晶片厚度 ≤3mm 3.可测晶片直径 :140mmX150mm、 200mmX200mm 、400mmX500mm ★4.恒流源 ：电流量程分为 1µA、10µA、100µA、1mA、10mA、100mA 六档，各档电流 连续可调 5. 数字电压表 ： 5.1 量程及表示形式 000.00～199.99 mV； 5.2 分辨力：10µV；输入阻抗＞1000MΩ； 5.3 精度：±0.1% ； 5.4 显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示； 6.四探针探头基本指标 ： 6.1间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 机械游移率：≤0.3％； 6.2 探针：碳化钨或高速钢 Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)； ★7.模拟电阻测量相对误差 ( 按 JJG508-87 进行) ：0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3％±1 字 8.整机测量最大相对误差 ：(用硅标样片:0.01-180Ω.cm 测试) ≤±4％ 9.整机测量标准不确定度 ≤4％ 10.测试标准 ：采用双电测测试标准，通过 RTS-9 双电测测试软件控制四探针测试仪进行测 量并实时采集两次组合模式下的电压值，然后根据双电测测试原理公式计算 出电阻值。 11.软件功能 ：软件需要可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据最大值、 最小值、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图，也可把测试数据输出到 Excel 中，对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。 ▲12.测角仪：θ-2θ联动立式测角仪、衍射圆半径150mm ▲13. 2θ角度范围：-3°- +150° ▲14. 2θ角度精度：全谱范围内＜±0.02°偏差 ▲15.分辨率：<0.04°2θ半峰宽FWHM ★16. 索拉狭缝：集成式索拉狭缝，无任何运动可调部件，增加测角系统的可靠性，从而使得FRINGE CLASS桌面式XRD***平台。 17. X光管：金属陶瓷X射线管，支持最大 2.2KW功率，焦点:1x10mm，默认 配置 Cu 靶。 高压发生器功率：固态高频高压发生器，最大输出功率600W。 ★18. 散热方式：内置水循环冷却系统，无需额外增加冷水机，软件可实时显示X射线管中水温、流量、流速等信息。 ★19. 探测器：DPPC探测器（数字脉冲处理计数探测器），计数吞吐量≥1×10^7CPS，DPPC探测器可高效抑制样品荧光，即使对于强荧光样品，也能提供出色的峰背比，无需使用二级单色仪，DPPC探测器在提供衍射数据的同时提供能量色散光谱数据。 ★20. 接口：紧凑的家用墙插插头提供电源，USB接口连接PC用于控制XRD ★21. 气源：提供2路气源接口，可用于原位分析或气氛保护 ★22. 云端服务功能：配套使用可同步的移动端APP服务，用于支持衍射数据卡片化管理，并支持接入知识管理系统。 ★23. 支持的检测技术：光吸收、荧光强度、化学发光 ★24. 荧光检测灵敏度： 24.1顶部读取：<0.4 fmol fluorescein/孔（384黑板） 24.2底部读取：<4 fmol fluorescein/孔（底透384黑板） ★25. 动态范围： 25.1荧光（顶部读取）：>6个数量级，自动增益调节 25.2化学发光：>7个数量级，自动增益调节 26. 自动增益调节： 26.1荧光：参考芯片 >6个数量级 26.2化学发光：基于LED >7个数量级 27. 内置气体控制模块： 27.1 CO₂范围：0.1%-15%，稳定性 ±0.3%（在5% CO₂下） 27.2 O₂范围：1%-21%，稳定性 ±0.3%（在1% O₂下） 28. 孵育器温控范围：温度范围：室温+4℃至45℃，配有DryCover技术以减少凝结 ▲29. 支持的微孔板类型：光吸收：6-384孔板；荧光：6-1536孔板； 化学发光：6-1536孔板。 本项目报价为包干价格，签订合同后30日内供货，质保年限最低为1年，学校进行数量验收，达到要求后供货方支付25%履约保证金，需方支付100%合同金额，待验收完成后支付20%履约保证金，余下5%为质保金，1年后无遗留问题支付。需方不组织统一现场踏勘，请各供应商自行前往现场踏勘并充分了解项目情况、运输道路、安装空间及环境、装卸限制及任何其它足以影响报价的情况

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