激光干涉仪

1：干涉仪主机-测试结构：斐索干涉卧式结构 光源波长：632.8nm (采用氦氖激光光源) 测试口径： φ 100mm (4″) 数字高速相机：分辨率≥1.2K×1.2K pexil ，帧速≥50Hz 光学变焦：1-5X 光学变倍 调焦：调焦光瞳±2.0m 对准方式：两点对准 对准视场： ±3° 2：QPS 快速采样 相移分析系统-高速采样抗震模块（系统+软件）: 3：平面透射标准镜 (TF）: 4：五维调整架

按行业标准提供服务，质保一年（设备整机）