有机小分子热蒸发沉积系统

不锈钢腔体(1)SUS304焊接式,400mm*400mm*500mm。整体漏率小于5.0*10-9Pa.m3/S，保压：12小时≤5Pa。侧开门，(1),观察窗DN60(2),移动门(1),内衬板(1),旋转门(1),台架(1),地脚(1),脚轮(4)。爱德华分子泵，抽速不低于700L/s，机械泵为爱德华12立方米/小时，真空计组合测量，测量范围1.0*10-5Pa—大气，从大气抽至5.0*10E-4Pa时间小于15分钟，分子泵 Edwords(1),机械泵 Edwords RV12(1),插板阀 HTC匹配分子泵(1),预抽阀 KYKY KF40接口(1),预抽阀 HTC KF25接口(1),排气阀 HTC KF40接口（1），充气阀 KF16接口（1），真空计 inficon MPG400（1），管道（1），真空压力开关（1）。基片盘带加热温度室温-200度，PID控温，精度±1度。步进电机及减速器（1），磁流体（1），光电开关 （1），联轴器（1），加热及温控（1），舟式点蒸发源（6），源挡板（6），源分隔板（1）。采用计算机+PLC方式的控制系统，计算机（1），PLC（1），控制电器（1），主电源系统（1）。基片载盘（2），专用螺丝螺母（1），中心圈及卡箍KF16（2），中心圈及卡箍KF25（2），中心圈及卡箍KF40（2），密封圈O-ring（1），石英坩埚2cc（10），蒸发舟（6）。运行温环境温度：5-30度；湿度：25-65%；电源三相380V，8KW。水源冷却水，15-25度，流量5L/分以上，管路为0.5寸，进出水各1路。压缩空气，1路；输出压力范围0.1-1MPa可调，G1/4管径；高纯氮气，1路；输出压力范围0.1-1MPa，纯度4N及以上，G1/4管径；排气排气口为KF40，3路；客户的排气管道上预留好3路KF40接口或DN40的管接头

按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务）