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序号
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设备名称
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数量/单位
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预算单价
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品牌
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型号
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规格参数
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质保及售后服务
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附件
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1
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哈特曼真空腔体三维位移平台
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1(套)
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上海程方
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X/Y/Z三维位移平台(带光栅尺、真空环境下使用)
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"1、核心指标需求： a、行程：X—±75mm、Y—±75mm、Z—±50mm b、分辨率：＞2um c、重复定位精度：＞±1um d、单项定位精度：＞10um e、最大速度：10mm/sec f、运动直线度：5um g、运动平行度：25um g、回程间隙(空转)：＜2um 2、性能指标 a、绝对位置记录:实时显示 b、超行程预警 c、掉电自锁、上电复位 3、其他需求 a、负载：大于5kg b、工作环境：1.0E-3Pa(真空环境) c、厂家配备馈通法兰(预留CF160/CF100馈通法兰) "
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按行业标准提供服务
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本公告地址：https://www.120bid.com/view/12104/H50Ks50BLRKCxEZfeNKQ.html
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