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序号
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设备名称
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数量/单位
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预算单价
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品牌
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型号
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规格参数
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质保及售后服务
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附件
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1
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等离子清洗机
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1(套)
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Harric
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PDC-002
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1、主机系统: 1.1紧凑的台式设备、可调节的RF功率、符合CE安全标准 1.2清洗舱:长6.5(165mm)英寸,直径6(150mm)英寸,舱门具有观察窗,便于观察等离子辉光; 1.3常用工作气体:空气、氧气、氩气、氮气或混合气体等 1.4 1/8英寸标准锥管螺纹针型阀控制气流和腔体压力; 1.5 1/8英寸标准锥管螺纹三通阀便于气体混合,隔离舱体和排气的快速切换; 1.6射频频率:13.56MHz; 1.7功率为低、中、高档可调,射频线圈,产生的等离子功率对应表:抵挡功率7W、中档功率10W、高档功率30W; 1.8挡位功率设置:输入功率200W; 1.9设备尺寸:11”H×18“W×9”D(28×45×23cm)。 2、配套真空系统: 2.1干泵,支持各类活性气体的等离子体清洗处理。
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按行业标准提供服务
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