关于湖南晶材半导体科技有限公司年产6000套半导体用高纯石墨制品建设项目环境影响报告书拟审批公示

项目名称

湖南晶材半导体科技有限公司年产6000套半导体用高纯石墨制品建设项目

建设单位

湖南晶材半导体科技有限公司

建设地点

韶山市高新技术产业开发区电子信息产业园18号栋

环境影响评价文件编制单位

湖南百恒环保科技有限公司

建设项目概况

湖南晶材半导体科技有限公司拟投资5000万元，在韶山市高新技术产业开发区电子信息产业园18号栋建设年产6000套半导体用高纯石墨制品建设项目。项目占地面积约2666.84m2，总建筑面积约2666.84m2。项目生产工艺流程为：切割→纯化→机加工→清洗→烘干→涂层（碳化硅涂层、热解碳涂层、TaC涂层）→质量控制→包装等。主要原辅材料有：成型石墨、氟利昂R14、甲基三氯硅烷、丙烯、TaCl5、氢气、氩气、氮气、氢氧化钠、润滑油、真空泵油、石灰、PAC、PAM等。主要生产设备有：线锯机、数控车床、数控磨床、精雕机、高温纯化炉、气相沉积炉、超声波清洗机、烘干机、粉碎机等。项目建成后实现年产6000套半导体用高纯石墨制品。

主要环境影响和环境保护对策与措施

1.大气污染防治措施。严格落实报告书中提出的各项废气污染防治措施，确保大气污染物排放满足国家和地方有关标准。切割、机加工、破碎产生的颗粒物收集后通过布袋除尘器处理后经18m高排气筒（DA001）达标排放；纯化废气通过收集处理后经二级碱液喷淋塔处理后经18m高排气筒（DA002）高空排放。CVI沉积废气、PIP热裂解废气经过二级碱液喷淋+除雾+二级活性炭处理后经18m高排气筒（DA003）高空排放。以上废气须满足以下标准要求：切割、机加工、破碎产生的颗粒物执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中的二级排放标准要求；纯化废气氟化物执行《工业炉窑大气污染物排放标准》（GB9078-1996）表4中浓度限值；CVI沉积废气、PIP热裂解废气颗粒物、氯化氢执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中的二级排放标准要求，非甲烷总烃执行《工业企业挥发性有机物排放标》（DB43/3550-2026）表1中计算机、通信和其他电子设备制造业VOCs有组织排放限值，颗粒物、非甲烷总烃厂界浓度须满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中排放标准要求；厂区内VOCs无组织排放满足《工业企业挥发性有机物排放标》（DB43/3550-2026）中相关限值要求。

2.水污染防治措施。严格按照“雨污分流、污污分流”***网。项目生产废水主要包括清洗废水、喷淋塔循环水、涂层工序喷淋废水、冷却水、制备纯水产生的浓水等，清洗废水经调节池+沉淀池处理达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1排放限值后，***网进入韶山市友谊桥污水处理有限责任公司处理；喷淋塔循环水需定期更换，纯化工序喷淋废液作为危险废物交由有资质单位处置，涂层工序喷淋废水采用高效蒸发器处理后水冷凝回用于蒸发器；冷却用水循环使用，不外排；制备纯水产生的浓水作为喷淋塔的补充用水，不外排。生活污水经隔油＋化粪池预处理满足《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准排放浓度和韶山市友谊桥污水处理有限责任公司进***网。

3.噪声污染防治措施。优化车间设备布局，选用低噪声设备，并维持设备处于良好的运转状态，做好车间厂房的隔声降噪措施，加强设备的维护保养，降低生产设备噪声，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求。

4.固体废物污染治理措施。严格按照“无害化、减量化、资源化”原则，将各类固体废物分类收集贮存、转运、综合利用、安全处置。粉尘、废包装物、废料、氯化钠收集暂存后外售，废旧布袋、废过滤膜、废渣收集暂存后交由环卫部门定期清运；废活性炭、氯硅烷类物质、废真空泵油、废机油、废机油桶、纯化工序喷淋废液、废弃抹布和劳保用品（含油）等危险废物的收集、运输、暂存以及管理应按照《危险废物收集、贮存、运输技术规范》（HJ2025-2012）、《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求，分类存放于厂区内危险废物贮存间，并定期交由有资质单位处置，不得造成二次污染。生活垃圾经分类收集后交由环卫部门统一清运、定时处理。

环境风险防范工作。加强生产和环保管理，提高清洁生产水平，设置专职环保管理人员，落实环保设施管理责任。制定严格的风险防范措施方案、安全操作规程，按要求制定突发环境事件应急预案，防止事故发生，避免或者减缓环境风险情况下对环境的不利影响。

建设单位开展的公众参与情况

项目建设单位作为公众参与调查主体,***网站公示等形式开展公众参与工作