2026年5月采购意向项目-9

政府采购意向公告吉林大学2026年5月采购意向项目-9政府采购意向为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将吉林大学 2026年5月采购意向项目-9采购意向公开如下：序号采购项目名称采购品目采购需求概况预算金额（万元）预计采购时间备注1MPCVD金刚石沉积系统A02052402真空应用设备高质量4英寸级金刚石单晶的制备一直是金刚石迈向第三代半导体应用的尚未解决的瓶颈问题。在现有的各种制备方法中，微波化学气相沉 积（MPCVD）被认为是高速率制备出高 质 量的、大面积金刚石单晶材料的唯一可行方法。387.52026-05

目前国际技术竞争激烈，我国受限于沉积设备性能，单晶尺寸及质量难以突破产业化瓶颈。新购置设备可以稳定生长6-8英寸的金刚石多晶膜及4-6英寸金刚 石 单晶，满足芯片散热基板、高功率激光窗口等需求，突破“ 卡 脖子 ” 技术，为我国军工领域贡献力量，支撑我国第三代 半 导体、量子信息等战略性产业发展起到关键性作用。 采购数量 ：1套。 技术 参 数1.GaN微波 发 生

器； 2.基台 直径:220mm； 3.有效沉积直 径 ：200mm， 中心与边缘温差小于10°C；4.进气系统:质量流量 计CS200：H2: 10slm,CH4：500sccm,O2：50sccm,Ar:200sccm,N25sccm;5.红外测温仪:单色红外测温+可成像双色测温仪 （ 各1）； 6.1频 率 ：915MHz±5MHz6.2 功率稳定度：1% 6.3输 出 功率 ：0~55kW连续可调6.4 纹波 ：5%

6.5 工作模式：连续波 6.6驻 波 ：1.5 6.7谐 波 ：-50dBc6.8 工作温 度 ：5~45°C售后服务1、 仪 器到达最终用户现场后，在接到用户通知 一 周内，卖方安排有经验的工程技术人员到用户现场安装、调试，按验收 指标逐项测试至到达到验 收 要求；仪器的安装调试需在接到用户通知 后30日 内 完成。 2、技 术 培训：仪器安装调试合格 后，卖方工程师在买方现场 对买方人员进

行操作及日常维护培训 ，直到买方人员能 独立操 作 。3、维修响 应时间：卖方应 在24小时内 对用户的服务要求做出响应，如果需要上 门 服务， 保证在5个工作日内到达用户现场 。4、保修期 ：保修期 一年，时间从安装调试验收 合格后开 始计 算 。5、有完善 的售后服务体系，有 充足的 零配件 。6、提供使用手册 、专用工 具和备品备 件等。本次 公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步 安排， 具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

吉林大学2026-04-15