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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将福州大学2025年度（第223批）采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 福州大学干法刻蚀系统等设备采购项目 |
采购内容：干法刻蚀系统
采购数量：1台
采购内容：干法刻蚀系统（二次配）
采购数量：1台
主要功能或目标：1、仪器设备为刻蚀系统，其任务是支持洁净实验室中的薄膜表面刻蚀和处理任务，支持的表面处理包括各向同性刻蚀和各项异性刻蚀等多种工艺需求，适用于先进电子器件的制备和开发。需在洁净实验室 24 小时不间断运行环境下，保持高稳定性和低故障率，全年理论工作时长超过 1,000 小时；2、预期将3路特殊气体从外部接入超净间的干刻蚀设备，并实现特气无害化处理
需满足的要求：1、通过验收后，提供一年质保。 2、与采购的干刻蚀设备匹配，严格预防气体泄漏风险，满足气体无害化排放，提供质保
|
160.000000 | 2025年06月 | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
福州大学
2025年05月30日
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本公告地址：https://www.120bid.com/view/177/dkp8IJcBO8okqEQ3YDNZ.html
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