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项目概况
| 项目名称 | 球差校正环境透射电镜(ETEM)供气系统 | 项目编号 | BH202604130434 |
| 开始时间 | 2026-04-20 17:17 | 结束时间 | 2026-04-25 17:17 |
| 供应商资格要求 | 参照《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 | 预算金额（元） | 470000.00 |
| 采购方式 | 竞价 | ||
采购货物信息列表
| 序号 | 货物（服务）名称 | 数量 | 计量单位 | 预算单价 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 球差校正环境透射电镜(ETEM)供气系统 | 1 | 套 | 470000 | ||
| 技术参数 | 供气系统主要技术参数指标： 1、 气路供气系统 a) 供气系统应采用室内外分区设计，室内配置氧气及备用气路，共 3 条气路；室外配置可燃及惰性气体气路，共 5 条，其中至少 1 条惰性气体气路具备连续不间断供气能力，并与电镜配套真空泵系统匹配。 b) 室内气源采用 8L 钢瓶，供气压力 8～12.5 MPa；室外气源采用 40L 钢瓶，供气压力 12.5～15 MPa。 c) 系统应提供不同特气钢瓶接口转换接头，室外气瓶区应配置外立面防护结构及通风风扇。 d) 气源入口应设置切断阀和放空阀，进气端采用高压软管连接，氢气等易燃气体不得采用非金属引压管。 e) 各类气体放空管线应引至室外，并分开排放。 f) 管路之间采用焊接连接，减压器进口阀组采用卡套连接，出口阀组采用 VCR 连接。 g) 减压器出口调压范围应为 0~12 bar，出口手动隔膜阀耐压应大于 2 MPa，减压器接口规格为 1/4”NPT。 2、 气体输送系统（进入混气柜前） a) 主体输送管线应采用 1/4 in BA 级不锈钢管，一氧化碳气路应采用铜管以降低吸附影响。 b) 管线之间采用焊接连接，管线与阀门之间采用 VCR 连接，系统中不得使用卡套及其他形式接头进行密封连接。 c) 管线应根据现场条件沿墙面、顶棚铺设，穿墙处设置套管并可靠密封，同时保留必要柔性连接，避免影响房间洁净等级及电镜运行稳定性。 d) 系统应配置真空置换系统和置换阀组；真空泵采用双级排气，最大排气速率不低于 73 L/min，极限真空度不高于 2000 Pa，前置过滤器精度为 10 μm，并具备远程启停功能。 e) 置换阀组采用隔膜阀，接口为 VCR，耐压等级不低于 2.0 MPa。 3、 气体配置控制柜（混气柜） a) 混气柜应采用一体化集成控制设计，配置 5 路气体控制通道，并集成进口截止阀、减压器、单向阀、电磁截止阀、手动隔膜阀、过滤器、真空规及电动程控阀等组件；除排空气路外，所有气路连接均采用 VCR 方式。 b) 每条气路应配置化学吸附式脱水脱氧单元，其中氧气气路仅配置脱水单元；脱水脱氧单元使用寿命应大于 8000 h（供气纯度 >5N），水氧净化精度应小于 0.1 ppm。 c) 二级减压阀出口调压范围应为 0～10 bar；过滤器精度应为 0.003 μm，颗粒净化效率应大于 99.999%，接口为 1/4 VCR。 d) 流量控制采用质量流量计，量程为 0～50 mL/min，耐压 1.0 MPa，采用同一气体标定，并提供其他气体相对该气体的转换系数，可直接在操作系统中调用，无需重新标定。 e) 电磁阀供电电压应为 24 V，接口为 1/4 in VCR，耐压等级为 1.0 MPa，泄漏率应小于 1×10⁻⁸ atm·cc/sec He。 f) 净化后管线应设置两段伴热，柜内温度范围 0～100℃，靠近电镜端温度范围 0～200℃。 g) 系统应配置水蒸气发生单元，蒸汽进给压力范围 0～0.4 MPa，控温范围 -5～60℃，温控精度 0.1℃，并配置进出口截止阀、安全阀、泄放阀及真空抽吸口。 h) 系统应具备多气路混气功能，混合气体按比例送入电镜，余气进入排空系统；排空端设置防返混阀。 i) 进入电镜前的气压控制应采用薄膜真空规与真空程控阀联合实现，真空规量程 0~0.5 bar，进入电镜前气压应小于 0.5 bar，控制精度达到 1 mbar；真空程控阀前及旁路配置电磁阀，接口均为 1/4 VCR，真空程控系统优选进口产品。 j) 混气柜应配置 PLC 集成控制系统，具备多通道通讯、远程通信和信号交互能力，并提供一套可视化气体流量与气压控制软件，实现参数显示、运行控制及状态监视。 4、 进气系统（混气柜和电镜间） a) 电镜进气段应采用柔性金属波纹管穿过设备壳体与电镜进气口连接，并在满足刚度和置换效率的前提下尽量缩短波纹管长度，以减小对电镜的振动干扰。 b) 进气管线应采用 316L EP 级管材铺设，并配置加热线圈，伴热控温范围为常温~120℃。 c) 接口形式采用波纹管 VCR。 5、 上位机控制系统 a) 系统应在电镜操作间配置一套可视化远程控制软件，用于对供气系统运行状态进行远程控制和监视。 b) 系统应至少实时显示并记录以下参数：进入电镜前的气压、混气柜各气路流量、伴热带温度及蒸汽发生器温度。 c) 系统应具备历史记录查询功能，并支持多种工况程序控制。 6、 排空系统 a) 排空系统应设置两条独立支线，分别用于真空泵排空和控制柜排空。 b) 根据安装位置和现场布局要求，可采用不锈钢管和 PVC 管组合铺设；不锈钢排空管管径为 1/4 in，耐压不低于 1.0 MPa；PVC 排空管管径为 De20，耐压不低于 0.3 MPa，连接方式为水胶粘接，材料应为阻燃型。 c) 系统应自带 1 台真空泵，并同时预留与电镜配套真空泵的连接接口，其中电镜配套真空泵仅用于电镜尾气排放。 d) 排空系统安装时应采取有效减振措施，避免振动传递至电镜。 7、安全监控 a) 系统应配置室内、室外两套安全监控单元，用于监测氧气浓度、可燃气体浓度及有毒气体浓度。 b) 室内监控点设置于混气柜附近，具备报警功能，并能在气源控制柜断电后继续工作；控制柜开机时，报警数据应可记录至电镜操作间计算机。 c) 室外监控点设置于气瓶间，除报警功能外，还应具备与气瓶间风机联动的能力，在断电状态下仍可报警并启动换气扇。 d) 氧气报警应为双阈值报警，上限 23%，下限 19%；可燃气体报警阈值为相应气体爆炸下限的 3% LEL（以 H₂ 为例，对应报警浓度 1200 ppm）；有毒气体以 CO 为例，报警点为 100 ppm。 e) 系统应联动气瓶间风扇，风扇规格为 300×300 mm²，风量 2200 m³/h。 8、安装调试 a) 供应商应负责系统安装、调试及验收配合工作。 b) 在安装和调试过程中，应采取有效措施减少对电镜运行环境的额外干扰。 c) 供应商应配合电镜工程师开展气路相关干扰排查、联调和优化，直至满足设备运行要求。 9、售后维保 a) 设备质保3年（净化管质保1年）。在质保期内，对非人为原因损坏的主体部件，气路方需负责免费更换且在8小时内响应解决问题。 b) 气路方需要协助做好对整套气路的后期安全维护。且终身设备负责维修，提供设备备品、备件。 | |||||
| 相关材料 | ETEM气路技术参数_0407.docx | |||||
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