溅射镀膜仪设备询（比）价采购公告

溅射镀膜仪设备采购公告

浙江亚通新材料****中心就溅射镀膜仪设备采购项目进行公开询价采购，邀请各单位参加本项目采购活动。

一、采购编号：溅射镀膜仪设备 YTZC-20260320

二、采购内容及要求

1、采购预算限价(最高限价）：5.5万元（含税）。

2、采购范围：本次采购1套溅射镀膜仪设备，主要包括主机、真空系统、溅射电源及样品台等核心部件，支持Au/Pt/Ag/Cu/Pd等多种靶材，标配至少1片贵金属靶材（Pt/Au），主要功能为扫描电镜成像非导电样品镀膜。

3、采购要求：

（1）真空系统

• 真空泵类型：旋片式真空泵（双级直连/高性能旋片泵均可）

• 抽气速率：≥4 m3/h（≥1 L/s）

• 极限真空度：≤1 Pa

• 工作压强：1-20 Pa

（2）溅射系统

• 镀膜方式：磁控溅射镀膜

•溅射电流：1-50 mA 连续可调，控制精度≤1 mA

•溅射时间：0-9999s连续可调，控制精度≤1s

•工作气体：高纯氩气（纯度≥99.99%），支持氮气/空气选配，气体接口为4mm锁紧接口

• 放气功能：具备自动放气功能

（3）靶材系统

• 靶材直径：φ30-60 mm（支持中50mm标准靶材）

• 靶材厚度：0.1-1mm（支持0.1-2mm厚度）

• 靶材种类：支持Au/Pt/Ag/Cu/Pd等多种靶材，标配至少1片贵金属靶材（Pt/Au）

（4）样品室与样品台

• 腔体材质：石英/高强度玻璃腔体

•腔体尺寸：外径≥φ120mm，高度≥100mm

•样品台直径：φ60-80mm，可兼容SEM标准样品台

•样品台功能：支持旋转（0-60 RPM可调）、升降（工作距离20-70mm可调）

（5）控制与操作

•控制方式：微处理器/触摸屏程序控制

•操作界面：支持实时参数显示与调整，操作便捷

（6）电气与物理参数

• 输入电源：100-240 V AC，50/60 Hz（兼容220V标准供电）

（7）质保与服务

• 质保期：≥1年原厂质保

•标准配置：含主机、真空泵、标配靶材、电源线、密封圈等耗材备件

•文档资料：提供操作说明书、维护指南、合格证明等技术资料

4、供货期：30天。

5、项目实施地点：浙江省杭****街****号

6、质保期要求：

6、结算方式：

三、供应商资格要求

1、供应商应依法设立且满足如下要求：

（1）中华人民共和国境内注册的企业法人(需提供有效营业执照复印件并加盖公章）；

2、供应商不得存在下列情形之一：

（1）在“中国政府采购网”（www.ccgp.gov.cn）中被列入政府采购严重违法失信行为记录名单；

（2）在“信用中国”（www.creditchina.gov.cn）中被列入严重失信主体名单；

（3）被列入杭钢集团供应商诚信档案，处于禁止投标处罚期内；

（4）不同响应人的单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的。

3、本次采购不接受联合体响应。

四、供应商所需提交的材料

1、商务技术响应文件（见附件2）；

2、报价响应文件（见附件3）。

五、评审办法

评审方法：经评审的最低价法，按含税总报价进行评审（若最低总报价相同，则相同供应商进行二次报价）。

六、响应文件及递交：纸质响应文件正本一份、副本两份，密封包装，封套上应载明项目名称、采购编号、供应商名称

响应文件递交截止时间为 2026年3月25日9时00分，请有意向供应商在截止时间前将响应文件递交给采购单位联系人。

七、评审时间和地点：评审时间同响应文件递交截止时间，地点为浙江亚通新材料股份有限公司。本次评审为非公开，不邀请各供应商参加，采购监督人员现场监督。

八、联系方式

1、采购单位：浙江亚通新材料****中心

联系人：查女士 联系电话：19550531852

2、组织单位：浙江亚通新材料****中心

联系人：查女士 联系电话：19550531852

邮寄地址：浙江省杭****街****号

3、监督部门：浙江亚通新材料股份有限公司内审风控部

联系人：何聪 电话： 0571-****5322

浙江亚通新材料股份有限公司

2026年3月30日