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华中科技大学2026年06月政府采购意向公开(第二批)

2026-04-30招标预告-意向湖北 - 武汉市 关注

基本信息

项目名称 硅光有源90nm包晶圆流片服务
预算 ***万
省份/直辖市 湖北 地区 武汉市
采购单位 购买会员可见
以上信息为大数据平台自动计算结果,如有误差以正文为准

正文

为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔****〕**号)等有关规定,现将华****学 点击查看****年**月政府采购意向公开(第二批)如下:

序号 采购项目名称 意向编号 采购品目 采购需求概况 预算金额
(万元)
预计采购日期 备注
1 硅光有源**nm包晶圆流片服务 YX********* C********其他专业技术服务 硅光有源**nm包晶圆流片加工技术服务,需完成定制化芯片流片服务,并交付4张晶圆。 总体要求:(1)完成硅基光调制器、光探测器等硅基有源基本单元器件以及光波导、光相移器等硅基无源单元器件制备;(2)实现实现大规模硅基有源光子集成芯片制备;(3)为大规模多通道硅基光放大器芯片后续工艺制备提供晶圆平台;(4)实现超大规模光计算网络芯片的制备。 功能要求:完成芯片加工制造,芯片版图中的图层主要包括:波导-脊型/波导-光栅耦合器/波导-平板/Si层P+注入/Si层P++注入/ Si层N++注入/Si层P注入/Si层N+注入/Si层N注入/Si层P中间注入/Si层N中间注入/Ge 外延/Ge N+注入/Ge P+注入/通孔1连接Si和Ge/金属1/加热器/金属2/开窗等图层,其中波导-脊型的最小宽带**nm。3片wafer划片交付,1片整晶圆交付,划片方式具体要参考最终版图(SITRI 默认划片方式是沿着wafer横平竖直的方式进行划片)。 指标要求:单元器件性能指标达到PDK所列指标。 证明材料要求:由代工厂提供内部设计与测试文档。 *** ****年**月
2 碳捕集利用重大科研装置工艺流体输送及烟气冷却系统 YX********* B********其他专业施工 碳捕集利用重大科研装置项目各子系统的运行需要配套各种工艺流体做为辅助单元,以及搭建钢制平台,来完成再生、吸附、分析等测试环节。项目需配套的工程有:钢制平台的搭建、室内各子系统的管道连接工程,工艺流体管道工程、循环冷却水系统工程及液氧站工程。预计工期:****年6月1日-****年6月**日。 *** ****年**月
3 硅光有源**nm包晶圆流片服务 YX********* C********其他专业技术服务 国产硅光有源**nm包晶圆流片加工技术服务,需完成定制化芯片流片服务,并交付**张晶圆。 总体要求:(1)完成光调制器、光探测器等硅基有源基本单元器件以及光波导、光相移器等硅基无源单元器件制备;(2)实现实现大规模硅基有源光子集成芯片制备。 技术要求:本项目采购内容为硅光工艺平台包晶圆流片加工服务 1 次,按甲方提供的 GDS/OAS 版图完成芯片加工制造并交付** 张整片晶圆(不划片)。流片工艺须满足平台对“三层波导刻蚀、SiNx(SiN)波导及多层金属互连”的能力范围与工艺规则要求。 芯片版图主要包含(但不限于)以下工艺模块/图层: 1. 硅波导层:包含光栅耦合器(WG1)、脊型波导(WG2)与平板/全刻波导(WG3)等波导结构;其中脊型波导(WG2CORE)最小线宽≥0.** μm,最小间距≥0.** μm。 2. Si 掺杂注入层(用于 PN/PIN 及接触区):包含 N 注入(NW)、P 注入(BF)、N+ 注入(NLH)、P+ 注入(PLH)、N++ 接触注入(JX)、P++ 接触注入(JZ)以及 LPIN 相关注入(PDI/PDW)等,用于实现调制器/探测器等有源器件结构。 3. Ge 外延及 Ge 区域相关层:包含 Ge 外延窗口(CODR)及相关注入/结构模块,用于 Ge 器件(如探测器)实现。 4. 接触孔/通孔层:包含 Si/Ge 接触孔 CA(接触孔尺寸 0.4 μm×0.4 μm,且为正交矩形),用于实现 Si/Ge 与金属互连的电连接。 5. 加热器及其供电互连:包含 TiN 加热器层 HT 及其对准标记 ZM,并通过金属互连实现加热器直流供电与引出。 6. 金属互连与焊盘/开窗:包含三层金属互连 EA/EB/ED 及层间通孔 YA/YB,并包含顶层焊盘金属 LB、钝化开窗 DV(焊盘开窗)与 LV(边耦合器开窗)等,用于实现器件电连接与测试/键合。 以上版图应满足 NOEIC TD-**SP 工艺设计规则(DRC)要求,能够完成光子器件(波导、耦合器)及有源器件(基于 Si/Ge 的调制器/探测器、加热器等)在同一平台上的制造与互连,并按约定交付整片晶圆。 指标要求:单元器件性能指标达到PDK所列指标。 证明材料要求:由代工厂提供内部设计与测试文档。 *** ****年**月
4 国产化治疗头电离室束流监测及校准QA系统 YX********* A******核医学设备 探测器内含分条电离室、平板电离室,配件:电源适配器,网线,可拆卸底座;伺服电机及其组件包括例程,电机含机械旋变位置编码器;电离室电子学含信号、高压、传感器线缆组件;控制器包含定制程序编写,现场调试。 1. 监测用分条电离室 有效面积:***mm×***mm 通道数:***(x)+***(Y) 束流位置分辨:≤0.**mm; 2套 2. 电离室电子学 通道数:***; 高压:±( **V~****V); 接口:网口,光口,TTL I/O接口; 2套 3. 控制器 定制 SoC端DDR:>1GB; FPGA端DDR:>1GB; SoC端:千兆网RJ**; FPGA端:至少一路SFP+光纤接口; 串口:波特率≥****** bps,电源隔离; 光纤输入通道:≥**个,AFBR-****Z,支持最高**Mbps; 光纤输出通道:≥**个,AFBR-****Z, 支持最高**Mbps; 2套 4. QA用集成分条电离室 有效面积:***mm×***mm; 通道数:***(X)+***(Y) 测量周期:<**μs; 束流位置测量精度:<0.**mm 1 5. 旋转支架 定制 承重:** Kg; 同心度:0.1°; 1套 6. 伺服电机及其组件 扭矩:1.4 Nm ; 编码器:** bit; ;1套; 7. 倾角传感器及***模块 角度测量精度:±0.**度; 1套 *** ****年**月
5 华****学 点击查看军山校区公共部位缺失点位监控设施采购 YX********* A********视频监控设备 本项目为华****学 点击查看军山校区安防专项采购,采购标的包括:*** 万高清枪型摄像机 *** 台、*** 万高清枪球一体机 ** 台、*** 万摄像机 ** 台、高空球型鹰眼摄像机 6 台、*** 万热成像感温型火灾探测摄像机 4 台、周界防范大模型超脑 1 台、智能文搜融合应用主机 1 台、周界大模型球机 6 台、管理软件扩容 1 套,以及前端中端交换设备增加、线路敷设、杆件制作、设备安装调试及售后服务。 主要功能目标:减少校园视频监控盲区,提升安全防控能力,保障师生财产安全与校区有序运行。新****学校 点击查看现有安防平台,遵循 GB/T *****-**** 标准统一管理;前端设备内置 AI 算法,支持人脸车辆识别、周界防范;后端搭载大模型技术,提升视频检索与智能预警能力;热成像设备具备火灾探测、温度异常、烟雾火点报警功能并可联动消防主机。 质量安全要求:关键设备支持 GB***** 安全加密,室外设备防护等级不低于 IP**,适应 - **℃~**℃工作环境,支持断网续传与本地存储;所有产品为国产,符合国家及行业标准。 服务与时限要求:合同签订后 ** 天内完成安装,验收合格后提供不少于 3 年原厂免费质保,质保期内提供免费算法迭代与固件升级,电话报修后 4 小时上门、** 小时内排除故障,提供不少于 2 天 ** 人实操培训。 *** ****年**月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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****年**月**日

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本公告地址:https://www.120bid.com/view/4480/aeCZ3Z0Bni4p5U9XWl34.html

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