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一、合同编号：20260923-JJ-DXXY-006
二、合同名称：微纳传感材料与器件实验室设备更新项目政府采购合同
三、项目编号：ZHCH-ZB-2620
四、项目名称：天水师范大学微纳传感材料与器件实验室设备更新项目
五、合同主体
采购人(甲方)：天水师范大学
地址：甘肃省天水市秦州区藉河南路
联系方式：0938-***5814
供应商(乙方)：甘肃吉斌仪器有限公司
地址：甘****路****号14层1402室
联系方式：173****9286
六、合同主要信息
主要标的：
| 序号 | 名称 | 数量(单位) | 单价(元) | 总价(元) | 规格型号/服务要求 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | PVD系统-高真空磁控溅射薄膜沉积系统 | 1(套) | ￥629,000.00 | ￥629,000.00 | 1、片内膜厚均匀性：≤±3% 2、极限真空度经烘烤除气后小于6.6x10-6Pa 3、抽速：从大气开始抽气：25分钟可达到6.6x10-4Pa 4、保压：系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa 5、真空室 5.1单室结构 5.2手动前开门 5.3304不锈钢材质 5.4≥Ф450mmx400mm 5.5内烘烤除气 5.6腔外照明 6、磁控溅射靶 6.1强磁靶：1套（可用于磁性材料薄膜沉积） 6.2永磁靶：2套（普通金属材料沉积） 6.3尺寸：2英寸 6.4向上溅射 6.5可实现倾斜共溅射 6.6靶基距可调手动可调。 7、直流溅射电源 DC溅射电源：2台，输出0-500W连续可调，支持恒流、恒压、恒功率三种模式，工作压力0-100pa。 8、射频溅射电源 RF溅射电源：1台，输出0-500W连续可调，输出频率：13.56MHz，自动匹配，低压启辉能力，启辉压力：0.6-0.7pa。 9、基片台 9.1尺寸：4英寸（兼容4英寸以下小尺寸基片） 9.2数量：5片 9.3铁铬铝炉丝加热，炉丝加热温度：室温-800℃；控温精度：±1℃ 9.4基片自转速度：5～20转/分 9.5配有负300V偏压电源，辅助沉积 10、气体流量控制器 10.1氩气：0-200SCCM（准确度：±1.5%F.S） 10.2氮气：0-50SCCM（准确度：±1.5%F.S） 10.3氧气：0-50SCCM（准确度：±1.5%F.S） 11、泵组：磁悬浮分子泵：抽速1250L/S，1台。多级罗茨干泵：抽速15L/S，1台。 12、复合真空计：1x105Pa-1x10-8Pa 13、工艺薄膜规：13-0.013pa 14、无氧铜圈：1套，密封件；胶圈：1套，密封件；外照明灯：1个；烘烤灯：2个，腔体烘烤；电离规：2个，真空测量；不锈钢螺钉螺帽：1套；各规格保险丝：各10个；测试用的导电和绝缘靶材（4mm厚，5N）若干；电器相关的保险丝：各10个；专用工具箱，1套；冷却水循环机组件：1套；测试用的高纯氧气1瓶（15MPa），带减压阀；高纯氩气1瓶（15MPa），带减压阀；氮气1瓶（15MPa），带减压阀，配钢瓶支架；电控系统1套，具有自锁、互锁保护系统，并对关键部件有故障报警及报警动作保护措施，具有自动工艺流程和开放式工艺编辑、存储与调取执行，具有多工艺的自由组合，一键式全自动运行。 |
| 2 | 半导体性能测试仪 | 1(台) | ￥909,500.00 | ￥909,500.00 | 主要技术参数 1、中功率直流IV测量单元 1.1电流表测试量程/分辨率/精度电流源输出量程/分辨率/精度 最小：100nA/100fA/30pA100nA/5pA/30pA 最大：105mA/100nA/3uA105mA/5uA/15uA 1.2电压表测试量程/分辨率/精度电压源输出量程/分辨率/精度 最小：200mV/1uV/100uV200mV/5uV/150uV 最大：210V/200uV/3mV210V/5mV/15mV 2、远程前端放大器 电流表测试量程/分辨率/精度电流源输出量程/分辨率/精度 最小：1pA/10aA/10fA1pA/1.5fA/40fA 3、快速脉冲IV测量单元 3.1可编程双通道脉冲，电压电流同步测量； 3.2频率范围：不小于1Hz-50MHz； 3.3周期:不小于20ns-999ms； 3.4最小脉冲宽度:不高于10ns； 3.5电压范围：不小于-40V-+40V 4、远程放大及开关单元 4.1扩展电流测量范围:(10mA,1mA,100μA,10μA,1μA,100nA)； 4.2实现稳态IV、脉冲IV等模块之间不用换线的自动切换。 5、半导体测试测试夹具和电缆 用于测量半导体器件IV及脉冲IV特性，耐压：300V，最大电流5A； 低漏电连接电缆，支持源测量单元连接，接口适配，支持漏电流100fA 6、控制系统功能： 6.1图形化界面,全集成化，无需编制程序； 6.2标准半导体器件参数测试库 6.3纳米器件参数测试库 6.4半导体CV参数分析库 7、配置要求：参数分析仪主机1台；中功率源测量单元3个；远程前端放大器1个；快速脉冲IV测量单元1个；远程放大及开关单元2个；低漏电连接电缆3根；半导体测试夹具1个 |
| 3 | 原子力显微镜 | 1(台) | ￥2,596,500.00 | ￥2,596,500.00 | 主要技术参数 1、工作模式 接触模式、轻敲模式、力曲线成像模式、智能成像模式、横向力模式、相位成像模式、静电力显微镜模式、磁力显微镜模式、表面电势显微镜模式、压电力显微镜模式、力曲线、力阵列、抬高模式、扫描电容显微镜、导电力显微镜、定量纳米力学测试功能、 2、性能参数 2.1工作方式：XYZ三轴全探针扫描方式，扫描过程中由扫描器带动探针进行XYZ三个方向的移动，而样品保持静止，可提供开放式样品台空间，方便外部施加光、电、磁、热等信号，可测样品重量≥5Kg。 2.2高分辨扫描器：XY方向扫描范围≥90μm，XY方向闭环噪音水平≤0.15nm；Z方向扫描范围≥10μm，Z方向闭环噪音水平≤35pm。 2.3光学辅助系统：彩色CCD像素≥500万，马达驱动缩放及聚焦，视场范围≥1400μmx1400μm，光学分辨率≤2μm。 2.4进针方式：智能自动进针方式，采用马达和压电陶瓷自动探测的智能进针模式，保护探针及样品，可更容易得到高分辩测试要求。 2.5控制器：至少包含三个全数字锁相放大器，反馈响应时间≤2µs，数据采样速率≥50MHz，每条扫描线可获得数据点≥16,000。 2.6全自动样品台：直径≥150mm，可放置样品高度≥15mm，真空吸附方式固定样品，样品台可360º旋转，可程序化全自动控制移动样品台，样品台移动区域≥150mm×150mm，可编程进行多样品、多区域自动扫描。 3、系统配置 原子力显微镜主机及应用模块1套；2)高速控制器系统1套；光学系统1套；样品台及真空吸附附件1套；防震台1套：提供气浮式防震装置，防止低频共振；隔音罩1个：提供可视窗口的隔音、防灰尘装置； |
合同金额： 4,135,000.00元，大写(人民币)：肆佰壹拾叁万伍仟元整
履约期限：2026年09月25日至2026年11月24日
履约地点：采购人指定地点
采购方式：公开招标
七、合同签订日期
2026年09月24日
八、合同公告日期
2026年10月09日
九、其他补充事宜
合同附件：
政府采购合同.pdf
天水师范大学
2026年10月09日
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本公告地址：https://www.120bid.com/view/466/P6XWHqEBMqitpwL5snqT.html
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