ZSDZB2026-011材料学院等离子体刻蚀系统采购公告

中国石油大学（华东）材料学院等离子体刻蚀系统校内招标公告项目编号：ZSDZB2026-011中国石油大学（华东）依据学校管理规定，并参照《中华人民共和国政府采购法》及其他相关法规，就下述采购项目进行校内招标，邀请合格投标人进行投标。一、招标人名称：中国石油大学（华东）二、招标人地址：山东****路****号三、本次招标内容如下：名称：材料学院等离子体刻蚀系统数量：1套预算：38万元本项目不分包。技术要求：详见附件。四、资格要求1.投标人必须具有标的物的制造或合法的供货能力（进口产品必须取得生产厂家针对本项目的授权），具有履行合同和售后服务能力。2.投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的相关规定。3.投标人未被列入“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）“失信被执行人”、“重大税收违法案件当事人名单”、“政府采购严重违法失信名单”；不处于中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。4.本项目不接受联合体投标。五、采购文件的获取1. 供应商应先进入中国石油大学（华东）采购与招标办公室主页（https://****.edu.cn），点击右上角“供应商登录”，再点击“微信登录”或“账户登录”，按系统提示进行登记注册，注册后拨打云采通服务电话进行审核，审核通过后点击采购公告下方的“我要报名”，填写真实准确报名信息后提交。报名缴费时选择“在线支付”方式，缴费成功一小时后依据系统提示下载采购文件。注：如有问题可咨询0532-****1699（杨老师）。2.报名起止时间：2026年5月7日-2025年5月12日下午17:00前(北京时间，节假日除外)。3.工本费:100元（售后不退，未购 买采购文件的投标人不具备参加投标资格。如 需开 具发票 ，请于交费后一周内将开票 信息 发送到财务邮箱cw****@****.****.cn，财务联系电话0532-****1607。）六、投标文件提交起止时间、地点1.提交时间：2026年5月26日14:00-14:30（北京时间）。2.提交地点：中国石油大学（华东）西北门 （靠近 体育馆 ）校 门外 （不进学校）。3.提交方式：投标人必须于投标文件提交截止时间前派投标 代表 提交投标

文件，逾期不再受理，传真、邮寄等方式提交的投标文件概不接收。七、开标时间及方式：1. 开标时间：2026年5月26日15:00（北京时间）2. 开标地点：中国石油大学（华东）****楼。八、投标保证金：本项目不需要缴纳投标保证金。九、联系方式：项目联系人：汤老师联系电话0532-***3188邮箱：zh****@****.****.cn***网址：https://****.edu.cn招标监督电话：0532-****3322中国石油大学（华东）采购与招标办公室2026年5月6日具体要求一、功能及用途要求该系统 是一台高 真空单室离子束刻蚀系统，离子束刻蚀是利用低能量平行Ar+离子束对基片表面进行 轰击， 将基片表面未覆盖掩膜的部分溅射出 ，从而达到选择刻蚀的目的主要用来金属 、合 金、氧化 物、 化合物、 混合材料、半导 体、 绝缘体、超导体等材料的刻蚀。二、技术要求1、系统采用单室式结构 ，主要用于反应离子刻蚀，可刻蚀的材料主要有过渡金属硫化物、超薄二维氧化物半导体等。2、主要 组成： 设备 主要 由刻蚀室 组件、下电极组 件、刻蚀室真空获得和 测量组件、气路组件、控制系统、冷却系统等部分组成。3、刻蚀室极限真空：≤1Pa（环境湿度≤55%，系统经烘烤除气）；4、刻蚀室漏率：≤5.0×10-7Pa·L/s；5、刻蚀工作真空：0.13～13.3Pa；6、刻蚀室尺寸约 为280mm×80，刻蚀室手动上 开盖结构；真 空室组件及 配备零部件全部 采用 优质航空铝材料制造；真空室组件上有 各种 规格的法兰接口如下（包含但不限于下列接口）：样品台法兰接口：1个；观察窗 法兰接口：1个；进气阀 接口1个、放气阀接口1个、低真空规管1个；*7、样品尺寸 ：最大尺寸Φ150mm（向下兼容更小的晶圆和不规 则小片；不同 尺寸样

片之间的切换）；（提供证明材料并加盖供应商公章）8、样品冷却：水冷；*9、下电 极采用13.56MHz射频 电源与自动匹配器 系统一套，最大功 率500W；（提供证明材料并加盖供应商公章）10、反辐射Dg40玻璃窗口：1块；11、进气阀：VCR接头；12、直联机械泵：1台（抽速8L/S,优成）；13、系统 由触摸屏和PLC实现对整个 系统的 控制，有 自动和 手动控制两种 功能， 操作过程全部在触摸屏上实现；14、有手机远程控制功能；*15、提供 配方， 设置真空系统、刻蚀电源系统、 气路系统等人机操作界面，在 触摸屏上可通过配方式参数设置 方式实 现对程序工艺过程和设备 参数的 设置。（提供 证明材料并加盖供应商公章）16、提供 全面 的系统 自动保护 功能，对各重要 部分、关 键操作 实现互锁保护，包 括真空系统、刻蚀电源系统、气路系统等；17、提供 完善 的系统 工艺 数据 保存 和历史曲 线显示功能、远程访 问功能 以及全面 的报警显示和事件记录功能；18、刻蚀系统安放在一个台架上，四只脚轮，可固定，可移动；★19、刻蚀 均匀性 ：150mm样品， 优于±1.5%，边缘5mm不计；（提供 证明 材料并加盖供应商公章）★20、刻蚀速率SiO2, 不小于60Nm/Min；（提供证明材料并加盖供应商公章）★21、预留Remote Plasma升级接口；（提供证明材料并加盖供应商公章）三、附件、备件和消耗品3.1、无氧铜密封垫圈（相关规格各一个）3.2、O型氟橡胶密封圈：（相关规格各一个）3.3、烘烤灯：2个3.4、专用工具：1套四、技术服务4.1 供应商必需在使用者的实 验室内 安装调试仪器直 至用户 认可仪器符合技术性能为止。

4.2 供应商必须为买方两位人员提供 至少 五天的培训 时间， 培训 内容包 括仪器的基本原理、操作及一般仪器维护保养知识。4.3 制****中心（包 括维 修中心）应当提供所有的服务包括备用零件及消耗品（以人民币结算）。