ZSDZB2026-008材料学院光电薄膜材料原位沉积系统采购公告

中国石油大学（华东）材料学院光电薄膜材料原位沉积系统校内招标公告项目编号：ZSDZB2026-008中国石油大学（华东）依据学校管理规定，并参照《中华人民共和国政府采购法》及其他相关法规，就下述采购项目进行校内招标，邀请合格投标人进行投标。一、招标人名称：中国石油大学（华东）二、招标人地址：山东****路****号 点击查看三、本次招标内容如下：名称：材料学院光电薄膜材料原位沉积系统数量：1套预算：37.3万元本项目不分包。技术要求：详见附件。四、资格要求1.投标人必须具有标的物的制造或合法的供货能力（进口产品必须取得生产厂家针对本项目的授权），具有履行合同和售后服务能力。2.投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的相关规定。3.投标人未被列入“信用中国”网站（www.****.gov.cn 点击查看）“失信被执行人”、“重大税收违法案件当事人名单”、“政府采购严重违法失信名单”；不处于中国政府采购网（www.****.gov.cn 点击查看）“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。4.本项目不接受联合体投标。五、采购文件的获取1. 供应商应先进入中国石油大学（华东）采购与招标办公室主页（https://****.edu.cn 点击查看），点击右上角“供应商登录”，再点击“微信登录”或“账户登录”，按系统提示进行登记注册，注册后拨打云采通服务电话进行审核，审核通过后点击采购公告下方的“我要报名”，填写真实准确报名信息后提交。报名缴费时选择“在线支付”方式，缴费成功一小时后依据系统提示下载采购文件。注：如有问题可咨询0532-****1699 点击查看（杨老师）。2.报名起止时间：2026年5月7日-2025年5月12日下午17:00前(北京时间，节假日除外)。3.工本费:100元（售后不退，未购 买采购文件的投标人不具备参加投标资格。如 需开 具发票 ，请于交费后一周内将开票 信息 发送到财务邮箱cw****@****.****.cn 点击查看 点击查看，财务联系电话0532-****1607 点击查看。）六、投标文件提交起止时间、地点1.提交时间：2026年5月25日14:00-14:30（北京时间）。2.提交地点：中国石油大学（华东）西北门 （靠近 体育馆 ）校 门外 （不进学校）。3.提交方式：投标人必须于投标文件提交截止时间 前派 投标 代表 提交投标

文件，逾期不再受理，传真、邮寄等方式提交的投标文件概不接收。七、开标时间及方式：1. 开标时间：2026年5月25日15:00（北京时间）2. 开标地点：中国石油大学（华东）行政办公楼0921室。八、投标保证金：本项目不需要缴纳投标保证金。九、联系方式：项目联系人：汤老师联系电话0532-***3188 点击查看邮箱：zh****@****.****.cn 点击查看 点击查看采购与招标办公室网址：https://****.edu.cn 点击查看招标监督电话：0532-****3322 点击查看中国石油大学（华东）采购与招标办公室2026年5月6日具体要求一、功能及用途要求该系统 是单室 结构 ，可用于纳米结构阵列薄膜材料（金属 、无机非金属等）的生长与器件组装制备，功能器件开发。二、技术要求1.1可实现二维过渡金属硫化物超薄单晶光电薄膜的原位逐层生长；1.2 真空室采用304不锈钢 制造， 工艺 真空室采用方法兰圆前开门设计，门上带有CF100观察窗（带磁力转轴挡板）；1.3 预留进样室接口法兰；1.4 主真空泵采用一流品牌分子泵，对氮气抽速不小于1000L/s；*1.5极限真空：优于3x10-6Pa；（提供证明材料并加盖供应商公章）1.6 抽速：主真空室从大气抽到6.6x10-4Pa时间少于20分钟；1.7 停泵关机12小时后主腔室真空度≤0.5Pa；1.8 真空检漏漏率：≤5.0x10-8Pa.l/S1.9 插板阀用三位一体结构；1.10 配置 国际一流品牌陶瓷 电容 溅射压 力计，在 溅射 时工作 ，测量精度 不低于0.2pa，并可以PID反馈控制工艺气体进气流量；*1.11 控压稳定时间小于10秒；（提供证明材料并加盖供应商公章）1.13 工艺气体流量采用比例模式或者定量模式，程序控制；1.14 气路接口：VCR接口

1.15四靶共沉积配置，三个直流靶、一个射频靶，四靶可共同折向上面的样品中心，靶与样品距离可调，程序控制调整；★1.16靶可共同 偏离样 品中 心，靶与样品距离0～30mm范围内任意设置，程序控制调整；（提供证明材料并加盖供应商公章）1.17强磁靶采用可调磁场结构；★1.18共计4个靶 ，3个直流 ，1个射频 ，每个靶枪无胶圈密封，靶枪 必须 满足10-9Pa超高真空环境下使用。（提供证明材料并加盖供应商公章）1.19每个靶枪带一个独立的电控挡板，无交叉污染；1.20工件台可以放最大Φ2英寸工件，向下兼容；1.21基片 可加 热，最高炉温800°C，温度稳 定后 设置精度和显示精度偏差不大于±1°C；1.22基片可连续回转，转速5～20转/分；1.23采用磁力传递无泄漏密封的方式；1.24基片可以加负偏压-200V；*1.25样品托：样品托架 可升降10mm，采用 磁力传递无泄漏密封的方式，用于样品交接和取放；（提供证明材料并加盖供应商公章）1.26样品可升降，0-50mm；样品倾斜可调，0-90°范围；★1.27溅射均匀性，重 复性 ：(MAX-MIN)/(2*AVERAGE)*100≤±1.5%；（提供证明材料并加盖供应商公章）1.28采用触屏+PLC控制模式；1.29主控系统有手动和自动控制模式；1.30所有操作可以在触屏上完成；1.31可以创建、编辑、存储工艺文件；1.32可以实现“一 键式” 操作，自动模式下，选择工艺 文件，系统可以自动执行所有操作直到工艺完成；1.33有自动记录工艺参数的日志功能；1.34系统 带完整的自锁 保护功能，有急停开 关，在 突然 停电时， 所有阀门 自动关闭；1.35手机端远程操控功能；三、附件、备件和消耗品

3.1、无氧铜密封垫圈（相关规格各一个）3.2、O型氟橡胶密封圈：（相关规格各一个）3.3、烘烤灯：2个3.4、专用工具：1套四、技术服务4.1 供应商必需在使用者的实 验室内 安装调 试仪 器直 至用户 认可仪器符合技术性能为止。4.2 供应商必须为买方两位人 员提供 至少五天的培训 时间， 培训 内容包 括仪 器的基本原理、操作及一般仪器维护保养知识。4.3 制造商在国内的技术服务中心（包 括维修中心）应当提供所有的服务包括备用零件及消耗品（以人民币结算）。