面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目物理气相沉积设备和化学气相沉积设备采购项目国际招标公告(1)

上海国际招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2026-04-28***网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:物理气相沉积设备和化学气相沉积设备
资金到位或资金来源落实情况:资金已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0705-264506024005
招标项目名称:面向智能传感器的MEMS***平台项目物理气相沉积设备和化学气相沉积设备采购项目
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	物理气相沉积设备	1台/套	机台选用装载溅射靶材适用八寸晶圆量产的金属溅射机台 支持标准厚度晶圆与薄片/厚片/双抛片/键合片等特殊晶圆作业（适应膜厚400um~1200um晶圆),保证金属沉积后无arcing或表面雾化等问题 支持工艺腔体温度从室温20℃~350℃间不同温度切换作业 支持钽铝氮、氮化钽、铂等特殊工艺溅射作业，并保证沉积薄膜的厚度、阻值和应力等工艺结果符合要求 支持每片晶圆作业前的Preclean预清洗功能，并保证预清洗工艺结果符合工艺要求 机台装载2个Loadlock、5个工艺腔体、2个冷却腔体、1个预处理腔体和2个Degas腔。 支持全自动生产，符合SEMI标准。	2026年6月30日前到货
2	化学气相沉积设备	1台/套	选用适用于八英寸晶圆量产的等离子体增强化学气相沉积机台 机台装载4个工艺腔，1个cooling腔，1个orient腔，2个loadlock 支持标准晶圆（725μm）与薄片/厚片/双抛片/键合片等特殊晶圆（400μm-1150μm）的正常传送和作业 支持工艺腔体在200℃~400℃间不同温度切换作业 2个工艺腔支持厚度100A-10000A的200℃ SIN低温沉积工艺，并保证膜厚，折射率，应力，颗粒等工艺结果符合要求 2个工艺腔支持厚度100A-50000A的230℃ TEOS低温沉积工艺，并保证膜厚，折射率，应力，颗粒等工艺结果符合要求 工艺参数匹配SITRI现有工艺 支持全自动生产，符合SEMI标准	2026年6月30日前到货

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1） 投标人须在投标截止期之前在国家商务部***平台（***平台，网址为：http://www.****.com）上完成有效注册（***平台的注册审核需要一定时间，如投标人在决***网站查询自身是否已经处于有效注册状态，以免因临近投标截止时间再来办理注册事宜而影响正常投标）；
2） 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织（须提供营业执照或其他相关登记证明文件）；
3） 投标货物可以是全新设备，也可以是翻新设备，投标人必须在其投标文件中对投标货物明确说明（若为翻新设备，则必须说明生产年份和序列号）。所投翻新设备生产年份需2000年后（含2000年）；
4） 投标人近三年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉（须提供承诺书）；
5） 投标人自2020年1月1日至今在中国境内须具有所投品牌同型号整机销售≥20台（其中物理气相沉积设备≥10台，化学气相沉积设备≥10台），须提供机台验收证明文件或用户购买证明文件或合同关键页或订单复印件。
6） 本项目不接受联合体投标。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2026-04-28
招标文件领购结束时间:2026-05-08
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：上海国际招标有限公司（www.****.com）网站上
招标文件售价:￥1000/$150
其他说明:有兴趣的潜在投标人可从招标机构处得到进一步的信息和查阅招标文件。在查阅和购买招标文件前，潜在投标人须向招标机构提供已签署盖章的《保密承诺》原件一份（签署人非法定代表人的还需提供法定代表人授权书），否则招标机构将拒绝向其提供相关信息和出售招标文件。
有兴趣的投标人可从2026年4月28日起至2026年5月8日止，每天（节假日除外）9:00时至16:00时（北京时间）在上海国际招标有限公司（www.****.com）官网上购买招标文件，在上述规定的招标文件出售截止期之后将不再出售本项目的招标文件。本招标文件每套售价为人民币壹仟元整（RMB 1,000.00）或壹佰伍拾美元（USD 150.00），售后不退。国内邮购须另加伍拾元人民币（RMB 50.00）；国外邮购须另加伍拾美元（USD 50.00）。
网站首次注册需要提供《供应商授权和承诺书》（供应商被授权人手机号快速注册后，可从待办中的供应商补全信息流程页面下载）、供应商注册证明、基本存款账户开户证明或基本存款账户信息等原件扫描件，供应商应当提前准备。
***网站采购公告栏的相应公告中进入在线领购招标文件流程，在线领购招标文件在查阅和购买招标文件前投标单位须向招标代理提供已签署的《保密承诺》（内容附后）、法定代表人授权书（内容附后）及被授权人身份证（加盖公章的复印件），否则招标代理有权拒绝向其提供相关信息和出售招标文件。法定代表人授权书等格式可从公告附件下载。购买招标文件时提供的资料应与投标文件中的资格证明文件一致，如有不同，以投标文件为准。投标人的合格与否，将由评标委员会决定。
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2026-06-01 10:30
投标文件送达地点:****路****号****大厦上海国际招标有限公司1303会议室
开标地点:****路****号****大厦上海国际招标有限公司1303会议室
6、联系方式
招标人:****中心有限公司
地址:****路****号
联系人:王辉杰
联系方式:139****7502
招标代理机构:上海国际招标有限公司
地址:****路****号****大厦
联系人:鲍琦、王晋
联系方式:86-21-62791919×132、161，ba****@****.com、wa****@****.com
7、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):